Messsysteme für Flächenwiderstand
Messsysteme für Flächenwiderstand
Die Überwachung des Flächenwiderstands ist für jede Branche von entscheidender Bedeutung, die leitfähige Filme verwendet, von der Halbleiterherstellung bis hin zur flexiblen Elektronik, die für tragbare Technologien erforderlich ist. Die Filmetrics® R-Serie zur Messung des Flächenwiderstands wurde auf der Grundlage von über 45 Jahren Innovationen bei der Messung des Flächenwiderstands entwickelt. Seit der Einführung unseres ersten Widerstandsmessgeräts im Jahr 1975 haben wir sowohl die Flächenwiderstandsmessung als auch die Schichtdickenmessung für leitfähige Schichten revolutioniert.
Filmetrics® R50-4PP Vierpunkt-Messsondensystem und Filmetrics R50-EC Wirbelstromsystem
Die kontaktbasierten Vierpunkt-Sondensysteme Filmetrics R50-4PP und die berührungslosen Wirbelstromsysteme Filmetrics R50-EC messen Metallschichtdicke, Flächenwiderstand, Resistivität und Leitfähigkeit.
Dank seines großen Z-Verfahrwegs eignet sich das R50-4PP ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. Das R50-EC-System eignet sich ideal zur Messung von Flächenwiderstand und Filmdicke auf empfindlichen und/oder flexiblen leitfähigen Oberflächen.
Filmetrics® R54-200 und Filmetrics R54-300 – Systeme zum Mappen von Flächenwiderständen
Die Systeme der Filmetrics®-R54-Serie bieten die Performance des Filmetrics R50 in einem lichtdichten Gehäuse mit zusätzlichen Funktionen. Lichtsensitive Halbleiter- und Verbindungshalbleiteranwendungen werden unterstützt, einschließlich Implantations- und Epitaxie-Wafern.
Die beiden R54 Probentischkonfiguration können Wafer von bis zu 200mm und 300mm Durchmesser aufnehmen und werden entweder als kontaktbasierte Vierpunktsonde (R54-4PP) oder als berührungslose Wirbelstromsysteme (R54-EC) konfiguriert.
Zeitleiste der Innovation
Unsere Innovationsgeschichte und unser umfangreiches Fachwissen haben zu einem breiten Portfolio an Mess- und Inspektionslösungen für alle Anforderungen und Umgebungen geführt. Erfahren Sie, wie alles begann – von der Einführung der Alpha-Step
Erfahren Sie, wie unsere Produkte Ihnen helfen können.
Entdecken Sie weitere Lösungen
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Instruments Gruppe
Für Branchenexperten, Akademiker und andere Innovatoren bietet KLA Instruments vertrauenswürdige Messlösungen und Fehlerprüfung, die weltweit bahnbrechende Technologien ermöglichen.
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Filmetrics® Schichtdickenmesssysteme
Die Filmetrics®-Schichtdickenreflektometer messen Dicke und Brechungsindex transparenter Filme in Sekundenschnelle – sowohl für Labor- als auch für Produktionsumgebungen.
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Filmetrics® Schichtdickenmesssysteme
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