Sheet Resistance Measurement Systems
シート抵抗測定システム
シート抵抗のモニターは、半導体製造からウェアラブル技術を実現するために必要となるフレキシブルエレクトロニクスにいたるまで、導電性フィルムを利用するあらゆる業界にとって不可欠です。 Filmetrics® Rシリーズシート抵抗測定システムは、KLAの45年以上にわたるシート抵抗測定技術の革新に基づいて開発されました。1975年に最初の抵抗率計を導入して以来、当社は導電層のシート抵抗測定と厚さ測定の両方に革新をもたらしてきました。
Filmetrics® R50-4PP 4探針プローブシステムおよびFilmetrics R50-EC 渦電流プローブシステム
Filmetrics R50-4PP接触式4探針プローブシステムおよびFilmetrics R50-EC非接触式渦電流システムは、金属層の厚さ、シート抵抗、シート抵抗率、シート導電率をマッピングします。
広いZ範囲により、R50-4PPは多様なアプリケーションに最適です。 R50-ECシステムは、敏感な導電性表面やフレキシブルな表面の抵抗と膜厚を測定するのに最適です。
Filmetrics® R54-200およびR54-300シート抵抗マッピングシステム
Filmetrics R54は高度なシート抵抗および導電率マッピングシステムであり、光を遮断するカバー付きでR50と同等の性能を発揮し、インプラントウェーハやエピタキシャルウェーハを含む半導体および化合物半導体向けアプリケーションに対応する追加機能を備えています。
R54システムは、最大で200mm径または300mm径のサンプルに対応するステージと、接触型の4探針プローブシステム（R54-4PP）または非接触型の渦電流プローブシステム（R54-EC）を組み合わせて構成することができます。
イノベーションの歩み
イノベーションの歴史と深い専門知識により、あらゆる要件や環境に対応する、測定・検査ソリューションの幅広いラインアップを築いてきました。1977年のAlpha-Step®製品ライン誕生から、最新の製品イノベーションに至るまで、その歩みをご覧ください。
当社の製品がどのようにお役に立つかをご覧ください。
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Instruments
KLA Instrumentsは、世界の革新技術を支えるため、業界の専門家、学者、その他のイノベーターに、信頼性のある計測および欠陥検査ソリューションを提供ます。
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Filmetrics®膜厚測定システム
Filmetrics® の膜厚測定システムは、ベンチトップおよび生産現場の両方で、透明膜の膜厚と屈折率を数秒で測定します。
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Filmetrics® and Zeta™ 光学式表面形状測定システム
Filmetrics® Profilm3D® および Zeta™ は光学式の表面形状測定システムです。白色干渉や ZDot™ 測定技術を用いて、3D 段差、粗さ、その他の表面形状を、素早く簡単に非接触で測定します。研究開発だけでなく製造現場でもご使用頂けます。
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