면저항 측정 시스템
면저항 측정 시스템
면저항 모니터링은 반도체 제조부터 웨어러블 기술을 구현하는 데 필요한 플렉시블 전자 장치에 이르기까지 전도성 박막을 사용하는 모든 산업에 필수적입니다. Filmetrics® R 시리즈 면저항 측정 장비는 45년 이상의 KLA 면저항 측정 혁신을 바탕으로 개발되었습니다. 1975년 첫 번째 저항률 게이지를 도입한 이후 당사는 전도층에 대한 면저항 측정과 두께 측정 모두에 혁신을 가져왔습니다.
Filmetrics® R50-4PP 4-point 프로브 시스템 및 Filmetrics R50-EC 와전류 시스템
Filmetrics R50-4PP 접촉 4-Point 프로브 시스템 및 Filmetrics R50-EC 비접촉 와전류 시스템은 금속 층 두께, 면저항, 면저항률, 면전도율 및 면전도도를 매핑합니다.
Z 범위가 넓기 때문에 R50-4PP는 매우 다양한 응용 분야에 이상적입니다. R50-EC 시스템은 민감한 및/또는 유연한 전도성 표면의 저항 및 막 두께를 측정하는 데 이상적입니다.
Filmetrics® R54-200 및 Filmetrics R54-300 면저항 매핑 시스템
Filmetrics R54 첨단 면저항 및 전도도 매핑 시스템은 조밀한 인클로저 내에서 R50 성능 기능을 제공하며, 주입 및 에피택셜 웨이퍼를 포함한 반도체 및 화합물 반도체 응용 분야를 지원하는 추가 기능도 제공합니다.
최대 200mm 및 300mm 샘플 옵션을 수용할 수 있는 두 개의 R54 시스템은 직접 4-Point 프로브(R54-4PP) 또는 비접촉 와전류 시스템(R54-EC)으로 구성할 수 있습니다.
혁신의 타임라인
오랜 혁신의 역사와 심층적인 전문 지식을 바탕으로 하여, KLA는 모든 요구 사항과 환경을 충족할 수 있는 광범위한 측정 및 검사 솔루션 포트폴리오를 구축했습니다. 1977년 Alpha-Step® 제품 계열의 출시를 시작으로 어떻게 지금의 혁신적인 최신 제품들에 이르게 되었는지 이 모든 과정을 확인해 보십시오.
당사 제품이 어떻게 도움이 될 수 있는지 알아보십시오.
더 많은 솔루션 살펴보기
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장비
KLA Instruments는 업계 전문가, 학자 및 기타 혁신가들에게 신뢰할 수 있는 계측 및 결함 검사 솔루션을 제공하여 세계의 혁신적인 기술을 가능하게 하는 측정을 제공합니다.
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Filmetrics® 박막 두께 측정 시스템
The Filmetrics® 박막 반사계를 사용하면 벤치탑 및 생산 환경 모두에서 투명 박막의 두께 및 굴절률을 단 몇 초 만에 측정할 수 있습니다.
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Filmetrics® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기
Filmetrics® Profilm3D® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기는 간섭계와 ZDot™ 측정 기술을 활용하여 R&D 및 생산 환경에서 3차원 단차 높이, 표면 거칠기 및 기타 표면 형상 측정을 위한 빠르고 비접촉 방식의 솔루션을 제공합니다.
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장비
KLA Instruments는 업계 전문가, 학자 및 기타 혁신가들에게 신뢰할 수 있는 계측 및 결함 검사 솔루션을 제공하여 세계의 혁신적인 기술을 가능하게 하는 측정을 제공합니다.
Filmetrics® 박막 두께 측정 시스템
The Filmetrics® 박막 반사계를 사용하면 벤치탑 및 생산 환경 모두에서 투명 박막의 두께 및 굴절률을 단 몇 초 만에 측정할 수 있습니다.
Filmetrics® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기
Filmetrics® Profilm3D® 및 Zeta™ 광학 표면 형상 측정기는 간섭계와 ZDot™ 측정 기술을 활용하여 R&D 및 생산 환경에서 3차원 단차 높이, 표면 거칠기 및 기타 표면 형상 측정을 위한 빠르고 비접촉 방식의 솔루션을 제공합니다.