ディスプレイ製造

ディスプレイ技術の進歩は、私たちを取り巻くエレクトロニクスの世界を形成しています。 ヘッドマウント、ウェアラブル、スマートフォン、コンピュータ、車載、テレビ、大規模なインタラクティブ展示まで、現代のディスプレイは、多様な形状とサイズでパフォーマンスが向上しています。 液晶ディスプレイ (LCD) や有機EL (OLED) ディスプレイ製造、そしてmicroLEDのような先端技術にとって、イノベーションは研究開発段階から量産製造に至るまでの歩留まりと信頼性の管理に新たな課題をもたらしています。 ディスプレイ製造業者は、KLAのプロセス制御、検査、テスト、修正、化学プロセス制御ソリューションの包括的なポートフォリオを使用し、生産効率並びに、スループットを改善し、ディスプレイ製造プロセス全体にわたるトータルコストの削減を実現します。

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Castor™

高生産性パターンウェーハ検査と計測システム

Castor™ パターンウェーハ検査システムは、OLED オン・シリコン (OLEDoS) 製造における歩留まりの重要な課題に取り組むオールインワンソリューションです。この生産性の高いシステムは、欠陥検査、レビュー、3D 計測を一度に行うことができます。アノード層の成膜から薄膜カプセル化、カバーガラスに至るまで、高度な分類を備えた高感度欠陥検査は、製造プロセス全体の品質管理戦略をサポートします。薄膜カプセル化 (TFE) プロセス段階で、埋もれた欠陥の高さを非破壊で迅速に測定することで、プロセスの問題をすばやく特定し、解決します。Castor™ システムにより、OLEDoSベースのマイクロディスプレイの歩留まりを向上させるインラインモニタリングを実現し、仮想現実 (VR) や複合現実 (MR) を含む複数のニアアイディスプレイアプリケーション向けの超高解像度のビジュアルを可能にします。

Orbotech Sirius™

高性能ディスプレイ製造向け自動光学検査 (AOI) システム

ディスプレイ用のOrbotech Sirius™ AOIシステムは、マルチモダリティイメージング (MMI)™ を使用し、1回のスキャンで複数条件の検査を可能にし、高精度な欠陥検出と分類を実現します。最も困難なディスプレイ製造の課題を解決するために設計されたOrbotech Siriusシステムは、テレビ、スマートフォン、タブレット、スマートウォッチおよび高性能電子デバイス、LCD、OLED、フレキシブルディスプレイ製造の生産歩留まりを向上させます。 AOIソリューションは、高度な画像処理機能により、複数タイプの欠陥検出を可能にし、優れた分類性能、全パネルエリアの検査、ならびにマイクロとマクロを組み合わせた検査機能を提供します。

Orbotech Flare™

MicroLEDバックプレーンとMicroLEDチップ移送後の検査と計測システム

Orbotech Flare™プロセス制御ソリューションは、microLED技術の歩留まり改善を加速させます。 Orbotech Flare BP(バックプレーン)検査システムは、ディスプレイバックプレーン基板の生産性向上に不可欠な欠陥を検出します。 洗練されたWireSense™ダイトゥーダイ検査を適用することにより、システムは、成膜、フォトリソグラフィ、またはエッチングプロセス後にパターン構造を分析し、プロセスの問題を迅速に特定します。 Orbotech Flare MT(マス移送)検査と計測システムは、各microLEDデバイス位置と配置精度を測定し、マス移送プロセスに定量化されたフィードバックを提供します。 このシステムは、LEDSense™技術と360°暗視野機能により、製造スループットレベルで100%測定カバレッジを達成し、配置シフトと欠落、変形、破損したmicroLEDなどの重大な欠陥を特定できます。

Orbotech Array Checker™

先進的なディスプレイ製造のための電気検査設備

Orbotech Array Checker™ AC7000 検査設備は、テレビ、スマートフォン、タブレット、スマートウォッチ、その他電子機器用のフラットパネルディスプレイの電気的欠陥を迅速かつ正確に検出・分類するために設計されています。高度な検出機能と、大小のディスプレイの短い合計平均サイクルタイム (TACT)により、システムは高いスループット、生産の柔軟性、低コストを実現し、総所有コスト (TCO) を削減します。ディスプレイ電気検査ソリューションはまた、独自の非接触電圧イメージ技術、高度なAI対応検出アルゴリズム、および簡単に調整可能なプローブを使用して、ディスプレイのサイズや形状に関係なく、すべての欠陥タイプを正確に検出します。

Orbotech Prism™

ディスプレイ修理システム

Orbotech Prism™システムは、生産高を増加させ、運用効率を改善し、総所有コスト(TCO)を削減する、迅速かつ正確なザップおよび成膜/デポジション修復ソリューションです。 ハイエンドTV、小型フレキシブルOLED、microLEDバックプレーン向けに設計されたこのソリューションは、選択層の高解像度と高精度切断(1μm未満)により、修理機能が強化されました。Orbotech Prismは、特許取得された技術により、あらゆるディスプレイ設計で欠けているパターンを正確に再現し、AIベースとルールベースの自動判断と自動修復を実行できます。

Orbotech OASIS™

自動生産高向上ソリューション

Orbotech OASIS™(Orbotech先進ソフトウェア統合ソリューション)は、ディスプレイ製造における歩留まり向上のための革新的な人工知能駆動 (AI) ソフトウェアプラットフォームです。 Orbotech OASISは、KLAのディスプレイ検査と計測、テスト、修理システムのフル製品ラインから得られるデータの統合分析に高度な機械学習を活用しています。共同解析を通じて達成される相乗効果により、欠陥検出、分類、修復が最適化され、プロセスの問題をより迅速に特定し、修復効率が向上します。この高度なソリューションは、歩留り管理の自動化とプロセス制御を通じて生産性を向上させるだけではなく、プロセスの立ち上げ時間を大幅に改善し、ディスプレイのよりスマートな生産を可能にします。

Process Probe™ 2070

フラット パネルの温度のモニタリングシステム

SensArray ® 製品ファミリーの一部であるProcessProbe™2070インスツルメントガラスタイルは、多くのフラットパネル処理アプリケーション用のガラス温度プロファイルの現場特性評価のための、費用対効果が高く柔軟なソリューションを提供します。 Process Probe 2070は、1枚の大きなガラスパネルではなく、多数の小さなガラスタイルを使用しているため、熱電対センサをプロセスチャンバ内の希望の位置に簡単に配置することができます。この柔軟な製品設計により、LCDおよび他の大型世代基板アプリケーションの温度測定を簡素化し、高精度なプロセス認定と最適化を可能にします。

ECI

化学プロセスのモニタリング

ECI Technologyは、ディスプレイ製造をサポートする化学プロセスモニタリング装置を取り扱っております。 詳細はこちら https://www.ecitechnology.com/products/

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