우리는 KLA 선임 수석 과학자이자 SPIE 펠로우인 John Robinson 박사와 함께 2025 SPIE 첨단 리소그래피 + 패터닝 심포지엄에서 얻은 AI 관련 인사이트를 공유했습니다.
Q: 올해로 심포지엄 및 산하 6개 컨퍼런스의 공동 의장을 2년째 맡고 계십니다. 전반적으로 가장 중요했던 결과는 무엇이고, 올해 행사에서 의장님의 역할은 무엇이었습니까?
저는 SPIE 첨단 리소그래피 및 패터닝 심포지엄에서 여러 역할을 맡았습니다. 우선, 논문 제출 건수(526건 이상)와 참석자 수(2,200명 이상) 모두 코로나 이전 수준으로 회복했다는 점을 알려드리게 되어 매우 기쁩니다. 이번 행사에서는 업계 정상급 연사들의 기조 강연 4건, 저명한 전문가의 단기 교육 과정 15건이 진행했습니다. 저는 또한 계측, 검사 및 공정 제어 컨퍼런스 프로그램 위원으로 16년째 활동하고 있습니다.
Q: 올해 출품된 논문에 대해 말씀해 주시겠습니까?
계측 컨퍼런스는 6개 컨퍼런스 중 가장 많은 논문(150건 이상)이 꾸준히 접수되고 있는 분야이고, 실제로 많은 참가자들이 몰리기도 합니다. 또한 저는 기술 커뮤니티의 일원으로 참가하여 최신 기술 동향에 대해 배우고, 업계 전문가들과 교류하며, 다년간의 참여를 통해 알게 된 지인들과도 함께하는 시간을 가졌습니다.
Q: AI는 여전히 우리 산업의 핵심 화두이자 성장 동력입니다. 컨퍼런스의 주요 내용을 몇 가지 소개해 주실 수 있을까요?
대부분의 논문에서 AI를 다루었다고 해도 과언이 아닐 것입니다. 첨단 리소그래피와 패터닝은 AI 분야의 발전을 가능하게 했으며, AI 역시 첨단 리소그래피와 패터닝 기술의 발전을 촉진한다는 점은 분명합니다. AI는 오랫동안 우리 산업 분야에 존재해 왔지만, 생성형 AI와 같은 기술의 등장으로 그 영향력이 점차 확대되고 있습니다.
John Robinson
Q: 매년 Karel Urbánek 최우수 학생 논문상 선정에 도움을 주고 계시는데요. 올해의 수상자에 대해 간단히 말씀해 주실 수 있을까요?
첨단 리소그래피 및 패터닝 분야의 지속적인 성공을 위해서는 최고의 인재가 필요합니다. 그래서 저희는 우수 학생들을 유치하고 확보하기 위해 많은 노력을 하고 있습니다. KLA는 학생 장학금 프로그램 (KLA 후원)과 학생 논문상과 같은 다양한 이니셔티브를 통해 학생들의 적극적인 참여를 장려하고 있습니다. KLA가 후원하는 Karel Urbánek 최우수 학생 논문상 은 계측, 검사 및 공정 제어 프로그램 위원회에서 매년 수여합니다. 17건의 학생 논문이 후보 자격을 갖추었고, 이는 기록적인 수치였습니다. 또한 훌륭한 학생 발표가 다수 있었습니다. 아인트호벤 공과대학의 팀 후벤 (Tim Houben)은 ‘분할형 주사전자 현미경 검출기 및 딥 러닝을 활용한 표면 재구성 최적화’라는 논문으로 최종 수상자가 되었습니다. 그는 SEM 기술과 머신 러닝 모두에 대한 깊은 이해를 보여주었습니다.
Q: 신규 펠로우들이 지명되었습니다. 선발 과정이나 기준, 새로 선정된 펠로우들에 대해 말씀해 주실 수 있으신가요?
SPIE는 매년 선발된 회원들을 학회 펠로우로 승격합니다. 이들은 기술적 성과뿐 아니라 기술 커뮤니티, 특히 SPIE에 대한 공헌을 인정받아 영예를 얻게 됩니다. 펠로우 프로그램은 2025년 올해 70<sup>주년을</sup> 맞이합니다. 첨단 리소그래피 및 패터닝 심포지엄에서는 올해 수상자 중 4분을 모시고 그 공로를 기리는 자리를 마련했습니다.