대한민국

계측

KLA의 웨이퍼 기하학 시스템은 정밀하게 제어되는 웨이퍼 모양 지형학을 통해 웨이퍼 모양이 매우 평평하고 두께가 균일하도록 보장합니다. 이 웨이퍼 계측 시스템은 다양한 웨이퍼 크기에 걸쳐 연마 및 에피택셜 실리콘, SiC, GaN, GaAs, 사파이어 및 기타 기판을 검증하여 웨이퍼 제조업체를 지원합니다. 두께, 평탄도, 구불어짐/휘어짐, 양면 나노 지형학, 응력 및 고해상도 측면 경사에 대한 중요한 데이터를 제공함으로써 당사의 웨이퍼 기하학 시스템은 제조 공정을 최적화할 수 있도록 지원하며, 고품질 기판의 일관된 대량 생산을 지원합니다. 

WaferSight™

가공 전 웨이퍼 지오메트리 계측 시스템

WaferSight™ 2+ 가공 전 웨이퍼 지오메트리 계측 시스템은 웨이퍼 제조 업체의 광택 웨이퍼 및 에피택셜 실리콘 웨이퍼와 가공 기판 및 기타 고급 기판을 검증합니다. WaferSight 2+는 웨이퍼 평탄도, 양면 나노 지형학, 고해상도 에지 롤오프 데이터를 생성함으로써, 웨이퍼 제조 업체가 최고 품질 기판의 대량 생산을 보장할 수 있도록 하는 데이터를 생성합니다.

MicroSense® 웨이퍼 시리즈

베어 웨이퍼 형상 계측 시스템

MicroSense® 베어 웨이퍼 형상 계측 시스템은 웨이퍼 제조업체가 다양한 재료, 크기 및 모양에 걸쳐 기판을 검증하는 데 사용됩니다. 마이크로센스 시스템은 특허를 획득한 비접촉식 센서 기술을 사용하여 높은 처리량으로 정확하고 정확한 자동 형상 측정을 생성합니다. 이 시스템은 반도체 표준 메트릭과 두께, 평탄도 및 모양(활/워프)의 전체 웨이퍼 맵을 생성하여 웨이퍼 제조업체가 공정을 검증하고 최적화하여 고품질 기판의 대량 생산을 보장합니다.

Are you sure?

You've selected to view this site translated by Google Translate.
KLA China has the same content with improved translations.

Would you like to visit KLA China instead?

您已选择查看由Google翻译翻译的此网站。
KLA中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。

你想访问KLA中国吗？

KLA 직원인 경우 My Access의 KLA 인트라넷을 통해 신청하세요.

나가기