대한민국

정전용량 센서

KLA의 정전용량 센서 포트폴리오는 근접성, 위치, 거리, 변위, 런아웃, 오토포커스, 널링, 진동, 두께 등을 검출 및 측정할 수 있게 해줍니다. KLA의 비접촉식 저잡음 고성능 센서는 OEM(반도체 장비, 자동 현미경, 자동차 부품, 태양광) 및 생산 최종 사용자(데이터 스토리지, 자동차 동력전달장치 부품)가 고정밀 공작 기계 및 스테이지의 직진도와 평탄도를 직접 측정하는 데는 물론 초점면 제어를 위한 위치 센서로 사용하는 등 다양한 응용 분야에서 쓰이고 있습니다. 당사의 정전용량 센서는 또한 다양한 산업 테스트 및 측정, 연구 및 개발 활용 사례를 제공합니다.

MicroSense® Capacitive Sensors

비접촉 위치 측정

MicroSense® capactive sensor는 혁신적인 기술을 활용하여 고성능 측정 성능을 달성합니다. 피코미터 분해능까지 지원하는 MicroSense capactive sensor는 상업적으로 이용 가능한 정전용량 센서 중 가장 낮은 잡음 성능을 제공합니다. 여러 애플리케이션에 정전용량 위치 센서를 사용할 수 있으며 개별 센서는 높은 안정성과 선형성 또는 빠른 응답을 위한 최고의 측정 대역폭에 맞게 최적화되어 있습니다.

모든 MicroSense capactive sensor 기능:

  • 정확한 전기 감지 기술을 사용하여 완전 비접촉 정전용량 위치 측정
  • 표면 마감 또는 정확도에 영향을 미치지 않는 물질을 사용하여 전도성의 접지 대상 감지
  • 센서 크기에 따라 달라지는 10µm-4mm 범위의 짧은 측정 범위

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