대한민국

화학 공정 제어

KLA의 화학 공정 제어 제품은 중요한 상감 공정, 세정 및 습식 식각 공정에 대한 분석 및 모니터링을 포함하여 칩 제조를 위한 여러 응용 분야를 지원합니다. 화학 분석 시스템을 이용해 엔지니어들은 개발 과정에서 여러 공정을 평가하고, 대량 생산 시 온라인 모니터링을 위해 여러 공정 툴과 완벽하게 통합할 수 있습니다. KLA의 화학 공정 제어 시스템이 제공하는 정보를 통해 칩 제조업체들은 신속하게 공정을 최적화하고 더 높은 수율과 신뢰성을 달성할 수 있습니다.

Quali-Line® Prima®

구리 다마신 공정을 위한 온라인 화학물 관리 시스템

Quali-Line® Prima® 2 시스템은 첨단 노드 도금 공정을 분석 및 제어합니다. 첨단 칩, 태양광, 하드 디스크 드라이브 대량 제조를 위해 개발된, 구리 배을 위한 화학물 모니터링 시스템은 기존, 초저농도, 고농도 구리 화학물을 지원하며 반도체 장치에 대한 정확한 구리 도금을 가능하게 합니다. Quali-Line Prima 2 시스템은 첨단 도금 장비와 쉽게 연결될 수 있으며, 무기 및 유기 성분을 최적의 정확도와 재현성, 그리고 빠른 분석으로 정밀 제어를 제공합니다

Quali-Line Quanta®

코발트 증착을 위한 온라인 화학물 관리 시스템

Quali-Line Quanta® 시스템은 최적의 정밀도와 정확도로 무기 및 유기 성분의 농도를 측정하여, 첨단 노드 로직 및 메모리 장치에 대한 BEOL/MOL 공정에서의 코발트 도금액을 분석합니다. 대량 제조를 위해 개발된 Quali-Line Quanta 시스템은 코발트 도금액 분석을 지원하며 첨단 배선 공정을 위한 정확한 코발트 도금을 유도합니다. 또한, 전자동 검증 및 교정, 지능형 자가 진단, 코발트 도금 장비와의 원활한 소통 기능을 제공합니다.

QualiSurf®

습식 식각/세정 응용 분야를 위한 온라인 화학물 모니터링 시스템

QualiSurf® 화학물 모니터링 시스템은 반도체 FEOL, MOL, BEOL 공정에서 첨단 세정 및 습식 식각 응용 분야를 지원합니다. 화학 성분과 식각된 물질 또는 공정 오염 물질 (재생 화학물의 경우)에 맞게 제작되었으며, 스펙트럼, 전기 화학, 적정법을 포함한 15개 이상의 분석 방법을 기반으로 하여 정확하고 다양한 분석을 제공합니다. QualiSurf 온라인 계측 시스템은 자동 교정, 검증, 자체 분석기 상태 점검을 통해 보장되는 높은 정확도와 재현성으로 각 반도체 칩 제조 공정과 화학을 정확하게 모니터링 및 제어합니다.

The QualiLab Elite® 벤치탑 장비는 진화하는 산업 기술과 대학에서의 응용 분야를 위한 화학물 분석을 지원합니다.

여기를 클릭하여 더 자세히 알아보기

Are you sure?

You've selected to view this site translated by Google Translate.
KLA China has the same content with improved translations.

Would you like to visit KLA China instead?

您已选择查看由Google翻译翻译的此网站。
KLA中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。

你想访问KLA中国吗？

KLA 직원인 경우 My Access의 KLA 인트라넷을 통해 신청하세요.

나가기