Filmetrics R54-300
Filmetrics R54-300
Filmetrics R54-300保持了和200毫米晶圆测量系统同样的小体积，采用高精度的 X-Y-θ样品台，能避免边缘效应并进行高密度测绘。R54-300采用小巧的台式结构，提供量测功能，用于工艺优化。
Filmetrics R54-300可配置为接触式四探针系统 (R54-300-4PP) 或非接触式电涡流系统 (R54-300-EC)。
Filmetrics R54-300保持了和200毫米晶圆测量系统同样的小体积，采用高精度的 X-Y-θ样品台，能避免边缘效应并进行高密度测绘。R54-300采用小巧的台式结构，提供量测功能，用于工艺优化。
Filmetrics R54-300可配置为接触式四探针系统 (R54-300-4PP) 或非接触式电涡流系统 (R54-300-EC)。
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