中国

工艺控制

半导体工艺设备制造商使用 KLA 的工艺控制系统来了解工艺品质和优化工具性能。KLA 的工艺控制系统可在工艺和工具开发过程中使用，它可生成用于呈现、诊断和控制工艺条件的信息，从而便于设备制造商充分测量和了解其工具的性能。我们的检测、度量、现场工艺监控和化学工艺控制解决方案也可用于在发货前对工艺设备的性能进行鉴定。KLA 的工艺控制系统可协助设备供应商构建可靠且适合生产的工艺工具。

工艺控制产品

KLA 全面的芯片制造工艺控制产品组合还支持半导体生态系统工艺工具的开发和生产。我们可为工艺设备制造商提供支持的产品包括：

  • Surfscan® 无图案晶圆检测系统
  • SensArray® 原位工艺监控解决方案
  • SpectraFilm™ 薄膜计量系统
  • Axion® X 射线临界尺寸 (CD) 和形状计量系统
  • SpectraShape™ 光学临界尺寸 (CD) 和形状计量系统
  • QualiSurf®、Quali-Line Quanta®、Quali-Fill® Libra®、Quali-Line® Prima® 和 QualiLab Elite® 化学品工艺控制系统
  • 此外还有若干产品......

了解我们为半导体工艺设备制造商提供的产品，涵盖缺陷检测与复审、度量、原位工艺管理和化学工艺控制等产品类别。

Are you sure?

You've selected to view this site translated by Google Translate.
KLA China has the same content with improved translations.

Would you like to visit KLA China instead?

您已选择查看由Google翻译翻译的此网站。
KLA中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。

你想访问KLA中国吗？

如果您当前是KLA员工，请通过My Access上的KLA Intranet进行申请。

退出