中国

太阳能制造

在全球向更为环保的能源进行转换的过程中，太阳能发电正发挥越来越重要的作用。由于光伏 (PV) 设备是太阳能革命的基本组成部分，实现高质量、大批量光伏制造是取得成功的关键要素。在整个太阳能生产线中部署工艺控制系统和策略对于帮助太阳能电池制造商提高效率、产量以及整体盈利能力都至关重要。

MicroSense® PV-6060

非接触式光伏测量模块

MicroSense® PV-6060光伏剂量模块提供高精准度以及无可比拟的产出率，用于太阳能晶片厚度、晶片总厚度变化（TTV) 和晶片电阻率之在线测量。MicroSense PV-6060具有高稳定性与低噪音，期先进的非接触式电容传感器提供亚米级分辨率和可重复的厚度测量。MicroSense PV-6060系统采用模块化设计，可轻松灵活集成至自动化晶片传输系统中，供原始设备制造商（OEM) 用于制造再现太阳能晶片检验和分选系统。

Quali-Fill® Libra®

电镀在线化学品管理系统

Quali-Fill® Libra® 系统是一款独立的度量分析仪，适用于电镀和化学镀沉积，广泛应用于半导体先进封装、太阳能和硬盘驱动器制造领域。 该模块化系统通过精确分析主槽成分，以及检测和量化光刻胶、添加剂分解产物和痕量外来金属等污染物，从而支持了超安全和超清洁晶片和面板制造所需的化学度量性能。 它符合所有半导体安全和通信准则，同时可监控晶圆级和面板级封装工艺中使用的电镀化学品。 Quali-Fill® Libra® KT100 的加入可通过电感耦合等离子体光学发射光谱法 (ICP-OES) 提供元素成分详情，从而实现最详尽的分解分析。 它与 Quali-Dose® 配合使用，为用户提供闭环、灵活、精确的剂量控制，以管理电镀产品的质量。

Quali-Line® Prima®

铜互连线在线化学品管理系统

Quali-Line® Prima® 2 系统用于分析和管控先进制程节点的铜互连线电镀工艺。铜互连线化学品监控系统专为先进芯片、太阳能及硬盘驱动器的高量产严苛环境研发，支持常规、超低及高浓度铜化学液配置，确保半导体器件的精密电镀质量。Quali-Line Prima 2 系统可便捷集成于先进电镀设备，以最佳精度和重复性实现快速分析和精确控制，全面检测无机和有机成分。

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