化学工艺控制

KLA 的化学工艺控制产品支持芯片制造的多种应用，其中包括关键镶嵌、清洁和湿法蚀刻工艺的分析与监控。化学分析系统可帮助工程师在开发过程中鉴定各种工艺并与工艺工具无缝集成，以便在大批量生产期间进行在线监控。借助我们化学工艺控制系统生成的信息，芯片制造商可快速优化工艺并实现更高的产量和可靠性。

ECI

ECI Technology 提供支持芯片制造的化学工艺监控产品，其中包括：

支持湿法金属化工艺（包括铜和钴金属化）的在线监控和精确控制的产品：https://www.ecitechnology.com/products/semiconductor/interconnects/
支持关键蚀刻与清洁工艺的一系列化学分析仪（从台式化学监控系统到全自动在线监测仪）：https://www.ecitechnology.com/products/semiconductor/surface-preparation/

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