Candela 8720

Candela 8720

Candela 8720缺陷检测系统集成了表面和光致发光(PL)检测技术,能够捕获各种关键的衬底和外延缺陷。使用统计工艺控制(SPC)方法的自动化晶圆检测可显着降低因外延缺陷导致的良率损失,最大限度地减少金属有机化学气相沉积(MOCVD)设备的工艺偏差,并增加MOCVD工艺设备的正常运行时间。

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