Candela 8420

Candela 8420

Candela 8420是采用多通道探测技术的表面缺陷检测系统,可以在砷化镓 (GaAs)、磷化铟 (InP)、钽酸锂、铌酸锂、玻璃、蓝宝石等不透明、半透明和透明化合物半导体材料晶圆上提供颗粒、划痕、凹坑、凸起和污渍的检测并根据规则对缺陷进行分类。Candela 8420表面缺陷检测系统采用专利的OSA(光学表面分析仪)架构,同时测量散射强度、表面形貌变化、表面反射和相位变化,对各种关键缺陷(DOI)进行自动检测和分类。在几分钟内实现全表面检测,并生成高分辨率图像和检测报告,输出缺陷分类和分布图。

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