ZetaScan

ZetaScan

ZetaScan是针对无图案晶圆/玻璃面板的激光检测系统,它采用多通道检测技术对玻璃上的缺陷进行检测和分类。扫描光束光学系统将高灵敏度与高产量相结合,可在几分钟内检测全部表面。通过扫描生成晶圆图,可以对玻璃上表面和下表面颗粒进行自动缺陷分类。

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