配备 DefectWise^® 深度学习算法的 Voyager 1035 检测设备，可将关键 DOI（关注缺陷）与图形滋扰缺陷区分开来，从而提升对重要缺陷（包括独特且细微缺陷）的总体捕获率。业内独有的倾斜照明与量子效率提升 30% 的新型传感器，实现更高的吞吐量与更佳的灵敏度，可在更低剂量下对脆弱的光刻胶层进行检测，适用于 EUV 光刻中的显影后检测（ADI）和光刻单元监控（PCM）等应用。