
视频: KLA Docu 系列:解决的最棘手问题,Axion® T2000
9 月 19, 2025我们的工程师在开发并集成构成我们差异化产品核心的技术时,每天都要直面最棘手的问题。对于我们量测部门的一支工程师和科学家团队而言,他们遇到的最棘手的问题与 Axion® T2000 X-射线度量系统的研发有关。该团队利用 X 射线的能力,优化了基于 AI 的算法,并开发了多项专利技术,最终打造出一套工厂就绪(fab-ready)的系统,以前所未有的分辨率、准确性、精度和速度测量高纵横比的存储器器件特征。由此诞生的 Axion T2000 能够发现那些可能影响先进 3D NAND 和动态随机存取存储器(DRAM)性能的微小 3D 形貌异常,帮助确保存储器芯片的成功量产。