
영상: KLA Docu-Series: 최대 난제 해결, Axion® T2000
8월 07, 2025KLA 엔지니어들은 KLA의 차별화된 제품에서 핵심적인 역할을 하는 기술을 개발하고 통합하는 과정에서 날마다 가장 힘든 난제들에 부딪힙니다. KLA 계측 부서의 엔지니어와 과학자로 구성된 팀은 KLA의 Axion️️ T2000 X선 계측 시스템을 작업하는 도중 가장 까다로운 난제를 만났습니다. 이 팀은 X선 광원을 활용하고, AI 기반의 알고리즘을 더욱 정교하게 개선했으며, 역대 최고의 해상도와 정확도, 정밀도 및 속도를 바탕으로 높은 종횡비 메모리 소자의 형상을 측정하는 시스템을 반도체 공장에서 바로 사용할 수 있도록 하는 특허 기술을 개발했습니다. 그 결과 Axion T2000은 첨단 3D NAND 및 DRAM 성능에 영향을 미칠 수 있는 작은 3D 형상 이상을 발견함으로써 성공적인 메모리 반도체 칩 생산을 보장하게 되었습니다.