Profilm3D系列

Filmetrics Profilm3D白光干涉仪包含行程为100mm的电动X-Y和Z平台，以及一个手动偏摆（tip/tilt）平台。该系统支持相移和垂直扫描干涉测量，可用于高分辨率3D表面形貌测量。

Filmetrics Profilm3D-200白光干涉仪包括与Profilm3D相同的功能，但增加了一个更大的电动X-Y平台，可支持200mm x 200mm的行程。

Profilm软件套件

Filmetrics Profilm软件包综合全面、直观快速且简单易用。基本配置中包含调平、过滤、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术等3D数据操作和分析功能。Profilm支持ISO粗糙度计算方法，以及ASME等当地标准。只需点击一下，Profilm的数据即可上传到ProfilmOnline平台，以便轻松、安全地存储和共享数据。

ProfilmOnline网络应用

Filmetrics ProfilmOnline是采用云技术的3D数据可视化和分析平台，作为Profilm软件套件的一部分开发而成。无论您使用的是计算机还是移动设备，ProfilmOnline都可以提供3D数据的共享、存储、查看和分析。有Android和iOS操作系统适用的应用程序，并支持多种文件格式。安全起见，可对数据进行加密。

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物镜

四位置透镜转头可容纳放大倍率从5倍到100倍的物镜，以支持纳米、微米和宏观形貌应用。5x物镜是Michaelson干涉测量物镜。10x、20x、50x和100x物镜是Mirau干涉测量物镜。

平台

X-Y和Z轴的电动平台是Profilm3D系统的标准配置。Profilm3D的X-Y平台的行程为100mm x 100mm，Profilm3D-200的行程为 200mm x 200mm。Z平台的范围为100mm。沿所有运动轴的行程均可编程。手动偏摆平台是标准配置，其运动范围为±5°。

Profilm3D系列光学轮廓仪还提供手动R-theta晶圆平台，支持50mm至200mm直径的晶圆。此外，Profilm3D-200可配置一个适配器，以容纳最大为200mm的晶圆。

隔离台

Filmetrics Profilm3D系列提供Accurion Nano30系列主动式桌面隔振系统，该系统在所有六个自由度中使用电动驱动主动隔振。

台阶高度标准

Filmetrics Profilm3D系列包括定制设计的Cr on Si（硅上铬）10µm台阶高度标准，由一个带有铬涂层的蚀刻台阶组成。多级台阶高度标准也可作为选项，其中包括0.1µm、2µm和4µm台阶。