产品概况
Filmetrics Profilm3D和Filmetrics Profilm3D-200白光干涉仪以亚纳米级分辨率对表面形貌做出高分辨率的测量。这些设备支持垂直扫描和相移干涉测量。使用TotalFocus技术,Profilm3D可以生成令人惊叹的3D自然色彩图像,并且每个像素都在焦点上。在Profilm3D测量技术中,测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径不相关,从而可在较大的视场中实现高分辨率测量。通过将多个视场拼接成到一个测量之中,可以进一步扩大测量面积。Profilm3D的用户界面和自动化功能简单而新颖,适用于从研发到量产等各种不同的工作环境。我们的Profilm®软件套件包括尖端的云技术ProfilmOnline®网络服务、Android和iOS移动应用程序以及先进的Profilm桌面软件,可提供灵活的数据存储、可视化和分析解决方案。
主要功能
- 垂直扫描和相移干涉测量,可用于测量从纳米到毫米的表面特征
- 长行程范围的自动X-Y平台,非常适合绘制分布图和扫描拼接
- 行业领先的长压电行程范围内的自动对焦,用于扫描高度相差很多的多个表面
- 直观的软件套件,包括先进的Profilm桌面、采用云技术的ProfilmOnline和移动应用程序,用于灵活的数据存储、可视化和分析
- TotalFocus成像,即使在高度变化大于物镜焦深的表面上,也能产生令人惊叹的真彩图像,并且每个像素都在焦点上
主要应用
- 台阶高度:从纳米到毫米的3D台阶高度
- 纹理:3D粗糙度和波纹度
- 形式:3D弓形和形状
- 真彩色:3D表面形貌的TotalFocus图像
- 边缘滚落:3D边缘轮廓测量
- 缺陷检视:3D缺陷表面形貌
工业用途
- 高校、研究实验室和研究所
- 硅和化合物半导体
- 精密光学和机械
- 医疗设备
- LED:发光二极管
- 电力设备
- MEMS:微机电系统
- 数据存储
- 汽车
- 更多:请与我们联系,并提出您的要求