探针选项

Tencor P-7有多种探针可用于支持台阶高度、高纵横比步长、粗糙度、样品翘曲和应力的测量。 探针尖端半径范围从100nm到50μm，并决定了测量的横向分辨率。夹角范围为20到100度，这决定了测量特征的最大纵横比。 所有探针均采用金刚石制造，以减少磨损并延长其使用寿命。

样品卡盘

Tencor P-7提供一系列样品卡盘可支持各种样品类型。 标准卡盘是通用真空吸盘，带有精确定位销并适用于50至150mm的样品。 通用卡盘支持翘曲和应力测量，该系统使用3点定位器将样品保持在中性位置。此外还提供太阳能样品和200mm通用卡盘的附加选项。

隔离工作台

Tencor P-7提供桌面和独立隔离台选项。Granite Isolator^™系列是桌面隔离系统，将花岗岩与高级硅凝胶相结合以提供被动隔离。 Onyz系列桌面隔离系统采用气动空气隔离装置来提供被动隔离。TMC 63-500系列隔离台是独立钢架工作台，采用气动空气隔离装置提供被动隔离。

台阶高度标准

Tencor P-7采用VLSI标准提供的薄膜和厚膜NIST可追踪台阶高度标准。该标准采用安装在石英块上的硅芯片上的氧化物台阶，或者有铬镀层的蚀刻石英台阶。台阶高度的测量范围是8nm至250μm。

Apex分析软件

Apex分析软件通过提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件，增强了Tencor P-7的标准数据分析能力。 Apex支持ISO粗糙度计算方法以及如ASME之类的本地标准。 Apex还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和是/否合格的准则。 Apex提供八种语言的版本。

离线分析软件

Tencor P-7离线软件具有与设备相同的数据分析和配方创建功能。这使用户无需占用宝贵的设备时间即可创建配方和分析数据。

图案识别

图案识别使用预先习得的图案自动对样本进行对齐。 通过减少人为错误的影响，可实现全自动测量并提高测量的稳定性。 图案识别与高级校准相结合，可减少平台定位误差，并实现系统间配方的无缝传输。

SECS/GEM和HSMS

SECS/GEM和HSMS通信对工厂自动化系统提供支持并实现Tencor P-7的远程控制。 测量结果以及报警和关键校准/配置数据会自动报告给主机SPC系统。Tencor P-7符合SEMI标准E4、E5、E30和E37。