产品描述
Tencor P-7建立在市场领先的Tencor P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了Tencor P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。Tencor P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
主要功能
- 台阶高度:几纳米至1000μm
- 微力恒力控制:0.03至50mg
- 样品全直径扫描,无需图像拼接
- 视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
- 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
- 软件:简单易用的软件界面
- 生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化
主要应用
- 台阶高度:2D和3D台阶高度
- 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
- 形状:2D和3D翘曲和形状
- 应力:2D和3D薄膜应力
- 缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌
工业应用
- 大学、研究实验室和研究所
- 半导体和化合物半导体
- LED:发光二极管
- 太阳能
- MEMS:微机电系统
- 数据存储
- 汽车
- 医疗设备
- 还有更多:请与我们联系以满足您的要求