电阻测试仪

电阻测试仪

Filmetrics®电阻测试仪在超过45年的电阻测量创新和技术专长的基础上开发而成。自从1975年ADE 6035电阻计问世到Tencor Instruments、Prometrix和Filmetrics的技术开发,R系列电阻量测仪R50是综合技术专长的结晶。

Filmetrics R50-4PP

Filmetrics R50-4PP是接触式四点探针系统,可用于金属层厚度、电阻、电阻率、电导和电导率的测量。R50-4PP十个数量级跨度范围的测量能力以及大的Z运动范围是各种应用的理想选择。

Filmetrics R50-200-4PP适用于更大尺寸样品测量。

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Filmetrics R50-EC

Filmetrics R50-EC是非接触式电涡流系统,可用于金属层厚度、电阻、电阻率、电导和电导率的测量。非接触式电涡流法是测量敏感和/或柔性导电表面电阻和薄膜厚度的理想选择。

Filmetrics R50-200-EC适用于更大尺寸样品测量。

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