缺陷检测系统

缺陷检测系统

Candela®缺陷检测系统适用于在化合物半导体衬底(GaN、SiC、GaAs、InP、蓝宝石等)和硬盘驱动器上对各种关键缺陷进行检测和分类,并在批量生产中实现高灵敏度与产能。

Candela 8420 Surface Defect Inspection System

Candela 8420

光学表面分析仪(OSA),可通过对表面缺陷进行检测与分类实现设备和工艺监控,在光电技术、LED、通信和其他化合物半导体应用中对颗粒、污渍、划痕和宏观外延缺陷等进行检测。

Learn more

Candela 8520 defect inspection system

Candela 8520

高灵敏度、高产量的晶圆检测系统,采用集成式表面散射和光致发光技术,适用于SiC和GaN功率器件应用中对形貌缺陷和晶体缺陷进行检测和分类。

Learn more

Candela 8720 Surface Defect Inspection System

Candela 8720

高灵敏度晶圆检测系统,在GaN应用中集成表面缺陷检测和光致发光量测,适用于HBLED、MicroLED、VCSEL、LiDAR、物联网、5G和其他高端化合物半导体应用。

Learn more

ZetaScan

低成本、高产量的检测系统,针对太阳能、PV和显示器应用设计而成,可在方形或圆形的砷化镓、玻璃和蓝宝石晶圆上实现缺陷检测和分类。

Learn more

Are you sure?

You've selected to view this site translated by Google Translate.
KLA China has the same content with improved translations.

Would you like to visit KLA China instead?


您已选择查看由Google翻译翻译的此网站。
KLA中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。

你想访问KLA中国吗?

如果您当前是KLA员工,请通过My Access上的KLA Intranet进行申请。

退出