技术资料

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Filmetrics R54-200拥有先进的薄膜电阻测绘系统，在光密外壳内可以提供 R50性能功能，并具有支持半导体和化合物半导体应用（包括植入式和外延式晶圆）的附加功能。

Filmetrics R54-200可配置为接触式四点探针 (R54-200-4PP) 或非接触式电涡流系统 (R54-200-EC)。

Profilm3D^® 台式光学轮廓仪采用白光干涉法， TotalFocus^™ 无景深限制成像，或加强粗糙度模式，可以对3D台阶高度、粗糙度和其他表面形貌进行轻松地非接触式测量。

灵活且用户友好的纳米压痕仪，适用于测量模量、硬度（Oliver-Pharr模型，ISO 14577）、储存模量/损耗模量以及万能力学试验。能够施加高达1N的力，为硬质材料测试提供更高载荷和更大深度。可供选配的不同作动器，用于软质材料、摩擦学研究、横向力测量和其它需要双轴测量力和位移的场景。

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