认证与翻新

缺陷检测

Surfscan® Series

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Surfscan® Series

无图案晶圆检测系统

Surfscan® 无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备、工艺和材料进行认证和监控,能够迅速找到表面的缺陷,从而支持IC、OEM、材料和衬底制造。

主要应用

工艺认证、设备认证、设备监控、出厂晶圆质量控制、入厂晶圆质量控制、光阻和光刻机认证、工艺调试。

相关产品

Surfscan SP2XP:

针对≥45nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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Surfscan SP2:

针对≥65nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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Surfscan SP1DLS Pro:

针对≥90nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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Surfscan SP1TBI Pro:

针对≥130nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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2835, 2367

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2835, 2367

宽带等离子图案晶圆缺陷检测系统

2835和2367宽带等离子缺陷检测系统提供了业界公认的光学图案缺陷检测性能,能够在≥45nm的逻辑、内存和专业元件上对良率关键缺陷进行监控。每个型号的系统都配备特定可选的波长照明、成像像素、光学模式和先进的噪声抑制和缺陷分类算法,为最关键的工艺层提供经济高效的在线检测控制。

主要应用

在线缺陷发现与监控、热点发现、工程分析、工艺窗口认证、光刻单元监控

相关产品

2835:

针对≥45nm设计节点的采用宽带深紫外-紫外-可见光光谱的图案晶圆检测系统

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2367:

适用于≥65nm设计节点的采用宽带紫外-可见光光谱的图案晶圆检测系统

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eDR-5210

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eDR-5210

电子束晶圆缺陷检视和分类系统

eDR-5210电子束(e-beam)晶圆缺陷检视和晶圆分类系统可拍摄高分辨率的缺陷图像,准确呈现晶圆上的缺陷种类。eDR提供与KLA检测系统特别的连接,以便在IC和晶圆制造过程中更快地提升良率。

主要应用

缺陷成像、自动在线缺陷分类和性能管理、裸晶圆出厂和入厂质量控制、晶圆处置、热点发现、缺陷发现、工艺窗口发现、工艺窗口认证、晶边检视

eDR® 是KLA 公司的注册商标。

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认证和再制造

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