
KLA Docu 系列:解决的最棘手问题,Axion® T2000
2 月 17, 2025差异化产品的核心在于技术,而我们的工程师在开发和集成技术的过程中,每天都会面临最棘手的问题。对于我们量测部门的工程师和科学家团队而言,所面临的最棘手问题涉及到 Axion T2000 X 射线量测系统。该团队利用 X 射线的功能,改进了基于人工智能的算法并开发了专利技术,生产出可用于工厂制造的系统,以前所未有的分辨率、准确度、精确度和速度,测量高深宽比存储设备的特性。由此开发的 Axion T2000 发现了细微的 3D 形状异常(会影响先进的 3D NAND 和 DRAM 的性能),从而有助于确保存储芯片的顺利生产。