利用Tencor探针式台阶仪进行软材料的表面测量

利用探针式台阶仪对软材料表面进行接触式测量时，需要对所施加的力进行适当的控制。一般的探针式台阶仪在测量时施加固定的力，没有反馈调节系统，从而导致样品表面所受的力随台阶高度而产生变化。Tencor系列探针式台阶仪具有先进的力控制功能，可以根据台阶高度动态地改变力的大小，从而保证在样品表面所受的力是恒定大小的。该设计可实现软材料表面台阶高度的精确测量。