我们在 2025 年国际光学工程学会先进光刻与图形化技术研讨会现场，与 KLA 资深首席科学家兼国际光学工程学会会士 John Robinson 博士进行了交流，分享了他对人工智能的一些见解。

问：您可以介绍一下今年的论文提交情况吗？

在六大会议中，依然是量测会议收到的论文数量最多（超过 150 篇），也吸引了大量与会人员。此外，我还以技术社区成员的身份参加了会议，借此机会了解最新技术进展，与行业专家建立联系，并拜访了因多年参与活动而结识的老朋友。

问：人工智能仍然是我们行业的主要主题和驱动力。您能否重点介绍一下此次会议的一些关键要点？

我敢说，大多数论文都提到了人工智能。显然，先进光刻与图形化技术推动了人工智能的进步，而人工智能也推动了先进光刻与图形化技术的进一步发展。虽然人工智能融入我们行业已有多年，但其应用强度和扩展范围（例如生成式人工智能）仍在不断增加。

John Robinson

问：您每年都参与评选 Karel Urbánek 最佳学生论文奖。您能否分享一下对今年的获奖者的看法？

顶尖人才是先进光刻与图形化技术持续成功的关键。因此，我们一直投入大量精力资吸引和留住优秀学生。通过学生资助计划（KLA 是赞助商之一）和学生论文奖等举措，我们鼓励学生积极参与。Karel Urbánek 最佳学生论文奖由 KLA 赞助，每年由量测、检测与工艺控制计划委员会颁奖。今年有 17 篇候选论文达到资格标准，打破了历史纪录。许多优秀学生进行了演讲展示。埃因霍芬理工大学 (Technische University of Eindhoven) 的 Tim Houben 凭借论文 Optimizing surface reconstruction using a segmented scanning electron microscope detector and deep learning（《使用分段扫描电子显微镜探测器和深度学习优化表面重建》）而获奖。他展示了自己对 SEM 技术和机器学习的深入理解。 

问：学会授予了一批新会士。您能否分享一下选拔流程/标准以及新会士的相关情况？

国际光学工程学会每年都会选拔部分成员成为会士。他们因技术成就以及对技术社区（尤其是 SPIE）的贡献而获此殊荣。2025 年，会士计划即将庆祝学会成立 70 周年。今年的四位新晋会士在此接受表彰，是先进光刻与图形化技术研讨会的荣幸。