Optischen 3D-Profilern
Optischen 3D-Profilern
Der optische Tischprofiler Profilm3D® und die optischen Profilometer der Zeta™-Serie bieten schnelle, einfache und berührungslose Lösungen für 3D-Oberflächentopografiemessungen. Unser Portfolio an optischen 3D-Profilern unterstützt eine Vielzahl von Messverfahren, darunter Weißlichtinterferometrie, True Color-Bildgebung und ZDot™ konfokale Gitterstrukturbeleuchtung. KLA Instruments kann Ihnen helfen, die richtige optische 3D-Profilierungslösung für Ihre einzigartigen Messanforderungen zu finden.
Filmetrics® Profilm3D® Optisches Profilometer
Der optische Tischprofiler Profilm3D® verwendet Weißlichtinterferometrie, TotalFocus®-Bildgebung mit unendlicher Schärfentiefe oder den Enhanced Roughness Mode, um eine einfache, berührungslose Messung von 3D-Stufenhöhen, Rauheit und anderer Oberflächentopografie zu ermöglichen.
Zeitleiste der Innovation
Die Geschichte des optischen Profilometer-Portfolios von KLA Instruments™ ist eine Erzählung von Innovationen aus unterschiedlichen Ursprüngen. ADE brachte das MicroXAM-Interferometer auf den Markt. Zeta™ Instruments entwickelte ZDot™ und optische Profilometer mit mehreren Messmodi. Filmetrics® führte neuartige, vielseitige Weißlicht-Interferometer ein. Diese Produkte vereinten sich zu einem vielfältigen Portfolio optischer Profilometer, das heute unter der Marke KLA Instruments zusammengeführt ist. Erfahren Sie mehr über unsere reiche Innovationsgeschichte und darüber, wie sich unsere Werkzeuge weiterentwickeln, um Ihre Anforderungen in der Oberflächenmetrologie zu unterstützen.
Erfahren Sie, wie unsere Produkte Ihnen helfen können.
Entdecken Sie weitere Lösungen
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Instruments Gruppe
Für Branchenexperten, Akademiker und andere Innovatoren bietet KLA Instruments vertrauenswürdige Messlösungen und Fehlerprüfung, die weltweit bahnbrechende Technologien ermöglichen.
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Filmetrics® Flächenwiderstandsmesssysteme
Die Filmetrics® Benchtop- und automatisierten Flächenwiderstandsmessgeräte wurden auf Basis jahrzehntelanger Innovationen in der Widerstandsmessung und technischer Expertise entwickelt.
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Filmetrics® Schichtdickenmesssysteme
Die Filmetrics®-Schichtdickenreflektometer messen Dicke und Brechungsindex transparenter Filme in Sekundenschnelle – sowohl für Labor- als auch für Produktionsumgebungen.
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Für Branchenexperten, Akademiker und andere Innovatoren bietet KLA Instruments vertrauenswürdige Messlösungen und Fehlerprüfung, die weltweit bahnbrechende Technologien ermöglichen.
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Die Filmetrics® Benchtop- und automatisierten Flächenwiderstandsmessgeräte wurden auf Basis jahrzehntelanger Innovationen in der Widerstandsmessung und technischer Expertise entwickelt.
Filmetrics® Schichtdickenmesssysteme
Die Filmetrics®-Schichtdickenreflektometer messen Dicke und Brechungsindex transparenter Filme in Sekundenschnelle – sowohl für Labor- als auch für Produktionsumgebungen.