제품 설명
Filmetrics Profilm3D 및 Filmetrics Profilm3D-200 백색광 간섭계는 나노미터 이하 수준의 해상도로 표면 형상의 고해상도 측정값을 생성합니다. 이 장비들은 수직 스캐닝 간섭계와 위상 이동 간섭계 방식을 모두 지원합니다. 위상 이동 이미징(PSI)은 백색광 간섭계(WLI)와 결합하여 더 넓은 표면 Z 변화에 대한 PSI 감도를 구현할 수도 있습니다. TotalFocus® 기술을 활용하여 Profilm3D는 모든 픽셀에 초점이 맞춰진 놀라운 3차원 천연색 이미지를 제공합니다. 최신 Profilm3D 백색광 간섭계는 더욱 거친 표면, 높은 경사면, 낮은 반사율 표면 측정을 위한 향상된 표면 거칠기 이미징 기능을 도입했습니다.
Profilm3D 측정 방식에서 측정의 수직 해상도는 대물렌즈의 개구수와 무관하므로, 넓은 시야에서도 고해상도 측정이 가능합니다. 측정 영역은 여러 시야를 스티칭하여 단일 측정으로 통합함으로써 더욱 확대될 수 있습니다. Profilm3D 광학 표면 형상 측정기는 또한 간단하고 혁신적인 사용자 인터페이스와 연구 개발(R&D)부터 생산까지 광범위한 작업 환경을 지원하는 자동화된 기능을 제공합니다.
특징
- 나노미터에서 밀리미터 단위까지의 표면 특성을 측정하기 위한 수직 스캐닝 및 위상 변이 간섭계
- 전체 측정 범위를 통해 각 픽셀에 최적화된 초점을 제공하는 TotalFocus 3D 이미징
- 트루 컬러 이미징은 실제 샘플 색상을 생성하여 특히 미묘하거나 묻혀 있는 특징의 시각화를 향상시킵니다
- 향상된 거칠기 모드(ERM)는 렌즈와 같은 경사진 표면에서 프린지 대비를 높여 충실도를 개선하고, 거친 표면의 신호 개선을 가능하게 합니다
- 업계 최고 수준의 긴 피에조 이동 거리로 자동 초점을 맞추어 큰 높이 차이로 분리된 여러 표면을 스캔할 수 있습니다
- 이동 범위가 길어 매핑 및 스티칭 스캔에 적합한 자동화된 X-Y 스테이지
적용 분야
- 단차 높이: 나노미터에서 밀리미터까지 3D 단차 높이
- 질감 및 형태: 3차원 거칠기, 파형, 굴곡 및 형상
- 질감 특성 분석
- 엣지 롤오프: 3D 엣지 프로파일 측정
- 결함 검토: 3차원 결함 표면 형상, 결함 특성 분석
- 넓고 투명한 필름 표면에 대한 고해상도 스캔
- 높은 거칠기, 낮은 반사율, 스크래치 특성화
산업
- 대학, 연구소 및 연구기관
- 실리콘 및 화합물 반도체
- 정밀 광학 및 기계
- 의료 기기
- LED: 발광 다이오드
- 전원 장치
- MEMS: 마이크로 전기 기계 시스템
- 데이터 스토리지
- 자동차
- 기타: 요구 사항은 당사에 문의하십시오
