DefectWise^® 딥러닝 알고리즘이 적용된 Voyager 1035 결함 검사 시스템은 고유하고 미세한 결함을 포함한 주요 관심 결함(DOI)을 패턴 뉘앙스 결함과 구분하여 중요한 결함의 전반적인 포착률을 향상시킵니다. 업계 유일의 경사 조명과 양자 효율이 30% 향상된 신규 센서는 EUV 리소그래피용 ADI(현상 후 검사) 및 PCM(포토 셀 모니터링) 등 응용 분야에서 민감한 포토레지스트 층을 낮은 선량으로 검사하면서 더 높은 처리량과 우수한 감도를 제공합니다.