집적 회로(IC) 불량 분석

불량 분석(FA) 기법은 집적 회로(IC)에서 발생한 불량의 원인을 파악하고 위치를 특정하는 데 사용됩니다. KLA Instruments는 집적 회로 분석 절차에 필요한 장비를 제공합니다.

전면 디레이어링: 전면 디레이어링 공정은 IC 불량 분석의 한 형태로, 유전체를 얇게 만든 후 남아 있는 유전체의 두께에 대한 정확한 정보가 요구됩니다. Filmetrics^® 박막 두께 측정 장비는 이러한 IC 불량 분석 응용에 최적의 솔루션입니다.

ITO 박막 두께

정확한 굴절률 측정을 통해 산화 인듐 주석(ITO) 및 기타 투명 전도성 산화물(TCO)의 박막 두께를 정밀하게 측정할 수 있습니다. Filmetrics 장비는 폴리이미드, 하드코트, 액정층은 물론, 발광층, 주입층, 버퍼층, 봉지층 등 OLED 구조를 구성하는 다양한 박막층의 두께 측정이 가능합니다. ITO 층의 측정 과제에 대해 자세히 알아보려면 당사의 응용 노트를 참고하십시오.

생체의료 코팅 두께 측정

Filmetrics 장비를 사용하면 카테터, 혈관성형용 풍선, 스텐트, 가이드 와이어, 주사침 및 그 외 생체 이식재 등 생체의료용 코팅의 두께를 단 한 번의 클릭으로 손쉽게 측정할 수 있습니다. 생체의료 기기는 부식으로부터 기기를 보호하기 위한 특수 코팅을 적용하며, 일부 코팅은 조직 손상, 감염, 혹은 이식 거부 반응과 같은 합병증을 예방하는 역할도 합니다. 약물 전달 기기의 코팅 두께를 측정하는 것도 흔한 응용 사례 중 하나입니다. Filmetrics 장비는 샘플 전처리 없이도 비파괴 방식으로 빠르고 신뢰할 수 있는 두께 측정을 제공합니다.

디스플레이: OLED 계측

유기 발광 다이오드(OLED)는 휴대전화와 TV를 비롯한 다양한 디스플레이 기기에 사용됩니다. OLED 디스플레이를 구성하는 다수의 박막층은 두께가 매우 중요하며, 이를 효과적으로 측정하기 위해서는 비접촉식 측정 시스템이 필요합니다. F40-UV 박막 두께 측정 장비는 단순한 프로토타입 기기부터 완전한 픽셀 디스플레이에 이르기까지 비용 효율적이고 견고하며 비침습적인 계측 솔루션을 제공합니다. 당사의 OLED 측정 장비는 분광 방식이기 때문에 대기 환경에 민감한 소재에서 발생할 수 있는 화학적 변화를 감지하는 것도 가능합니다. OLED 박막 샘플의 두께 측정을 위한 무료 체험 서비스도 제공합니다.

다공성 실리콘 박막 측정

다공성 실리콘은 광학 소자, 가스 센서, 생체의료 기기를 포함한 다양한 분야에서 폭넓게 활용됩니다.

업계에서 주로 요구되는 다공성 박막 측정 항목에는 층 두께와 기공률이 포함됩니다. 일반적으로, 기공률 측정을 위해 비파괴 방식인 중량 분석법이 사용되지만, 이 방법은 정확도가 매우 낮은 편입니다. Filmetrics^® F40은 다공성 실리콘의 층 두께, 굴절률, 기공률을 단 한 번의 클릭으로 분석할 수 있는 독자적인 무료 알고리즘을 제공합니다.

반도체 공정 박막 측정

Filmetrics^® 제품 계열은 비금속 반도체 공정 박막의 두께와 굴절률을 측정할 수 있는 다양한 장비와 시스템을 폭넓게 제공합니다.

Filmetrics F40 현미경 기반 박막 두께 측정 장비는 최소 1미크론 이하의 소형 측정 지점을 위한 두께 측정에 적합하며, 사용자의 현미경에 간편하게 부착할 수 있습니다.

당사의 특허받은 두께 이미징 기술은 기존 박막 계측 장비에 비해 설치가 간편하고 레시피 수가 적으며 패턴 인식이 더 견고하고 비용 또한 훨씬 낮습니다. 독립형 버전과 통합형 버전 모두 제공됩니다.