웨이퍼 제조

KLA의 웨이퍼 제조 포트폴리오에는 제조업체들이 웨이퍼 생산 공정 전체에서 품질을 관리하는 데 유용한 결함 검사 및 검토, 계측 및 데이터 관리 시스템이 포함되어 있습니다. 전문화된 웨이퍼 검사 및 리뷰하는 설비는 생산 중 그리고 출고 웨이퍼 검증의 핵심적인 부분으로 웨이퍼 표면 품질을 평가하고, 결함을 검출하고 결함 수를 세고 결함을 분류합니다. 웨이퍼 기하구조 시스템은 정밀 제어된 웨이퍼 형상 지형을 사용하여 웨이퍼 모양이 극도로 평평하고 균일한 두께를 갖도록 합니다. 데이터 분석 및 관리 시스템은 수율 손실로 이어질 수 있는 웨이퍼/기판 생산 공정 이탈을 사전에 미리 파악합니다. KLA의 웨이퍼 제조 시스템은 실리콘, 프라임 실리콘, SOI, 사파이어, 유리, GaAs, SiC, GaN, InP, GaSb, Ge, LiTaO3, LiNBO3 및 에피택셜 웨이퍼 등 광범위한 기판 유형 및 크기에 대해 공정 개발, 생산 모니터링 및 최종 품질 검사를 지원합니다.

제품 범주

Surfscan®

비패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

Surfscan® SP7XP 비패턴 웨이퍼 검사 시스템은 최첨단 로직 및 메모리 소자의 성능과 신뢰성에 영향을 미치는 결함 및 표면 품질 문제를 식별합니다. EUV 리소그래피에 사용되는 요소를 포함해 도구, 공정, 소재를 인증하고 모니터링하여 IC, OEM, 소재, 기판 제조를 지원합니다. DUV 레이저와 최적화된 검사 모드를 사용하는 Surfscan SP7XP는 고급 노드 R&D를 위한 최고의 민감도와 대량 상산을 가능하게 하는 처리량을 제공합니다. 위상차 채널(PCC)과 일반 조명(NI)을 포함하는 보완 감지 모드는 베어 웨이퍼, 부드럽고 거친 필름, 깨지기 쉬운 레지스트, 리소그래피 스택의 고유 결함 유형을 감지합니다. 혁신적인 기계 학습 알고리즘을 사용하는 이미지 기반 결함 분류(IBC)는 더 빠른 근본 원인 파악을 가능하게 하는 반면, Z7™ 분류 엔진은 고유한 3D NAND 및 후막 응용 분야를 가능하게 합니다.

Surfscan® SP Ax

비패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

Surfscan® SP A2 및 Surfscan® SP A3 비패턴 웨이퍼 검사 시스템은 자동차, IoT, 5G, 가전 제품, 산업(군사, 항공 우주, 의료) 응용 분야용으로 제조된 반도체 칩의 성능과 신뢰성에 영향을 미치는 결함과 웨이퍼 표면 품질 문제를 식별합니다. 이러한 검사 시스템은 설비, 공정, 재료를 검증하고 모니터링하여 소자, OEM, 소재, 기판 제조를 지원합니다. DUV 레이저와 최적화된 검사 모드를 사용하는 Surfscan SP Ax 시스템은 반도체 공장의 결함 감소 전략을 지원하기 위해 필요한 감도를 제공합니다. 기본 암시야 및 선택사양 명시야 검사 모드가 동시에 실행되므로 중요한 수율과 잠재적 신뢰성 결함 유형을 검출하고 분류할 수 있습니다. 업계 최고의 Surfscan 플랫폼을 기반으로 구축된 Surfscan SP A2/A3 검사기는 다양한 응용 분야의 비용 및 성능 목표를 충족시키기 위해 구성 가능하고 유연한 특징이 있습니다. 150mm, 200mm, 300mm 웨이퍼 크기에 걸쳐 실리콘 또는 넓은 밴드갭(SiC, GaN 등) 소재를 기반으로한 기판 및 소자 제조를 지원합니다.

eDR7xxx™

전자 빔 웨이퍼 결함 리뷰 및 분류 시스템

eDR7380™ 전자 빔(e-beam) 웨이퍼 결함 리뷰 및 웨이퍼 분류 시스템은 결함의 고해상도 이미지를 포착하여 웨이퍼의 결함 군집을 정확하게 보여 줍니다. 광범위한 전자 광학 및 전용 렌즈 내 검출기를 갖춘 eDR7380은 섬세 EUV 리소그래피 레이어, 종횡비가 높은 트렌치 레이어, 전압 콘트라스트 레이어 등 공정 단계 전반에 걸친 결함 시각화를 지원합니다. 고유한 Simul-6™ 기술은 정확한 결함 원인 파악과 더 빠른 공정 이탈 감지를 위해 하나의 테스트에서 완전한 DOI 파레토를 생성합니다. 광대역 광학 패턴 웨이퍼 검사기용 IAS™이나 베어 웨이퍼 검사기용 OptiSens™과 동일한 연결 기능을 갖춘 eDR7380은 IC 및 웨이퍼 제조 중 더 빠른 수율 학습을 위해 KLA 검사기에 대한 고유한 연결을 제공합니다.

eDR®은 KLA Corporation의 등록 상표입니다.

WaferSight™

가공 전 웨이퍼 지오메트리 계측 시스템

WaferSight™ 2+ 가공 전 웨이퍼 지오메트리 계측 시스템은 웨이퍼 제조 업체의 광택 웨이퍼 및 에피택셜 실리콘 웨이퍼와 가공 기판 및 기타 고급 기판을 검증합니다. WaferSight 2+는 웨이퍼 평탄도, 양면 나노 지형학, 고해상도 에지 롤오프 데이터를 생성함으로써, 웨이퍼 제조 업체가 최고 품질 기판의 대량 생산을 보장할 수 있도록 하는 데이터를 생성합니다.

MicroSense® Wafer Series

가공 전 웨이퍼 기하학 계측 시스템

MicroSense® 가공 전 웨이퍼 기하학 계측 시스템은 웨이퍼 제조업체가 다양한 재료, 크기 및 모양에 걸쳐 기판을 검증하는 데 사용됩니다. MicroSense 시스템은 특허받은 비접촉식 센서 기술을 사용하여 높은 처리량으로 정밀하고 정확한 자동화된 기하학 측정을 생성합니다. 이 시스템은 두께, 만곡/휨, 평탄도 등의 정량값을 생성하여 웨이퍼 제조업체가 공정을 검증하고 최적화하여 고품질 기판의 대량 생산을 보장합니다.

Candela® 8xxx

화합물 반도체 소재와 SiC 및 GaN 기판에 대한 고급 검사

Candela® 8720 화합물 반도체 소재 표면 검사 시스템으로 전력 소자, 통신 및 RF 장치, 고급 LED 및 마이크로 LED 생산을 위한 GaN 관련 재료, GaAs 기판 및 epi 공정 제어를 수행할 수 있습니다. 독점 기술을 활용하여 수율 제한, 서브미크론 결함을 감지하고 분류하여 생산 라인 모니터링을 지원합니다. Candela® 8520 결함 검사 시스템은 자동차나 기타 응용 분야에서의 전력 소자에 자주 사용되는 SiC 및 GaN 기판의 고급 특성화를 실현하기 위해 설계되었습니다. 통합된 표면 산란 검사 및 광발광 검사 기술을 활용하여 트라이앵글, 캐럿, 적층 결함, 기저면 전위 등의 다양한 미션 크리티컬 지형 및 결정학적 결함을 감지합니다. Candela 8xxx 시스템은 기판 제조 업체에 품질 및 수율 개선과 에피택셜 성장 공정 최적화를 지원합니다.

소프트웨어 솔루션

KLA는 FabVision® 등 웨이퍼 제조를 지원하는 소프트웨어 솔루션을 보유하고 있습니다

자세히 알아보려면 여기를 클릭하십시오

레거시 노드 웨이퍼 제조

KLA는 Surfscan® 비패턴 웨이퍼 검사기 등 Pro Systems 및 개선 사항을 통해 레거시 노드 웨이퍼 제조에 사용되는 시스템을 보유하고 있습니다

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