제품 설명
Filmetrics® F60-c 시리즈는 생산 환경을 위해 특별히 설계된 몇 가지 기능을 추가하여 F50 시리즈의 박막 두께 및 인덱스 매핑 기능을 확장합니다. 여기에는 자동 노치 찾기, 자동 온보드 베이스라인닝, 모션 연동 기능이 있는 밀폐형 측정 스테이지, 소프트웨어가 사전 설치된 산업용 컴퓨터 등이 포함됩니다.
재설계된 F60-c는 웨이퍼 크기 간에 쉽게 전환할 수 있도록 자동화된 카세트 투 카세트 시스템을 제공함으로써 F60-c 시리즈의 자동화 기능을 향상시킵니다. 이 시스템은 입고 및 출고 공정 툴의 인증 및 화학 물질 공급업체 품질 관리에 이상적입니다.
제품 구성
- 업계 최고의 박막 측정 기술
- 모든 시스템에 표준으로 포함되는 직관적인 분석 소프트웨어
- 온라인 진단 유틸리티 내장
- 모든 시스템에 포함된 130개 이상의 자료가 있는 라이브러리
- 고도로 숙련된 애플리케이션 엔지니어의 24시간 연중무휴 전화, 이메일 또는 온라인 지원
- 시스템 패키지에는 통합 분광계/광원 장치, TS-SiO2-8-8000 두께 표준, 6인치 및 200mm 웨이퍼 반사율 표준 등이 포함됩니다!
응용분야
- 웨이퍼 크기 간에 쉽게 전환할 수 있는 카세트 투 카세트 시스템을 사용한 자동화된 박막 두께 측정
- n & k 매핑
