감광재 두께 측정

F3-sX, Filmetrics F50 및 Filmetrics F60-t를 포함한 여러 개의 싱글 지점 테이블탑 및 매핑 툴은 단층, 다층 및 독립형 감광재 박막의 감광재 두께와 식각 속도를 측정합니다. 모든 Filmetrics 모델은 분광 반사율을 정확하게 모델링하여 레지스트 두께(및 굴절률)를 측정합니다. 특별한 독점 알고리즘을 통해 강력한 "원 클릭" 분석을 수행할 수 있으며 일반적으로 1초 이내에 결과를 얻을 수 있습니다. SU-8 두께, Dow BCB 두께 및 기타 두꺼운 감광제의 측정은 Filmetrics 제품 계열에서 널리 사용되는 응용 분야입니다.

다공성 실리콘 박막 측정

다공성 실리콘은 광학 장치, 가스 센서, 생체 의학 장비 등 다양한 응용 분야에서 많이 사용됩니다.

업계에서 관심 있는 다공성 박막 측정에는 층 두께 및 다공성도가 포함됩니다. 일반적으로 중량계 측정과 같은 비파괴 방법을 사용하여 다공도를 측정하지만 이 방법의 정확도는 매우 낮습니다. Filmetrics^® F50은 다공성 실리콘의 층 두께, 굴절률, 기공률을 단 한 번의 클릭으로 분석할 수 있는 독자적인 무료 알고리즘을 제공합니다.

반도체 공정 박막 측정

Filmetrics^® 제품 계열은 비금속 반도체 공정 박막의 두께와 굴절률을 측정할 수 있는 다양한 장비와 시스템을 폭넓게 제공합니다.

Filmetrics F50 박막 두께 매퍼는 박막 두께를 정확하게 측정하고 블랑켓 박막의 포인트 바이포인트 자동으로 매핑합니다.

KLA의 특허받은 두께 이미징 기술을 통해 기존의 박막 계측 툴에 비해 설정이 더 쉬워지고 레시피가 더 적으며, 패턴 인식이 더욱 강력해지며 비용이 훨씬 낮아집니다.

실리콘 웨이퍼 및 막 두께 측정

Filmetrics^® 시스템에는 실리콘 웨이퍼 두께 측정 및 막 두께 측정을 위한 테이블탑, 매핑 및 생산 시스템이 포함됩니다. 일반적으로 측정되는 웨이퍼 소재에는 단일 또는 이중 연마된 실리콘, 사파이어, 용융 실리카, SiC, LiTaO₃, GaN 및 유리가 포함됩니다.

당사의 기술 전문가가 다양한 두께 범위에 대한 요구 사항 또는 단일 지점 측정 대 두께 매핑 요구 사항 등 고객의 두께 측정 요구 사항에 맞는 최상의 Filmetrics 툴을 찾도록 도와드릴 수 있습니다.