반도체: 비정질 실리콘(a-Si) 및 다결정 실리콘 두께 측정

Filmetrics F20을 사용하여 비정질 실리콘 및 폴리실리콘의 광학 상수(n 및 k)를 측정하십시오. 이 장비는 복잡한 측정 절차를 포함하여, 단 한 번의 클릭으로 기판 두께, 실리콘 층 두께, 그리고 층간 SiO₂ 두께를 동시에 측정하고 보고합니다. 당사는 또한 무료 Si 웨이퍼 두께 측정 체험 서비스를 제공하며, 결과는 보통 1~2일 내에 확인하실 수 있습니다.

반도체: 유전체 특성 측정

유전체 박막의 정확한 측정은 전자 산업에 매우 중요합니다. Filmetrics 측정 시스템으로 특징을 지닌 가장 일반적인 유전체 측정 값은 다음과 같습니다.

이산화실리콘 두께: SiO₂ 박막 두께는 당사의 Filmetrics 시스템을 통해 3nm~1mm까지 측정할 수 있습니다.

실리콘 질화물의 굴절률(Si₃N₄): 박막 두께와 함께 실리콘 질화물 굴절률을 측정하면 단 몇 초 만에 Si₃N₄ 박막의 특성을 완전히 파악할 수 있습니다. 당사의 박막 전문가에게 문의하여 귀하의 유전체 응용에 대해 상담하거나 무료 체험을 요청하십시오.

디스플레이: ITO 박막 두께

정확한 굴절률 측정을 통해 산화 인듐 주석(ITO) 및 기타 투명 전도성 산화물(TCO)의 박막 두께를 정밀하게 측정할 수 있습니다. Filmetrics 장비는 폴리이미드, 하드코트, 액정층은 물론, 발광층, 주입층, 버퍼층, 봉지층 등 OLED 구조를 구성하는 다양한 박막층의 두께 측정이 가능합니다.

생체의료 코팅 두께 측정

Filmetrics 장비를 사용하면 카테터, 혈관성형용 풍선, 스텐트, 가이드 와이어, 주사침 및 그 외 생체 이식재 등 생체의료용 코팅의 두께를 단 한 번의 클릭으로 손쉽게 측정할 수 있습니다. 이러한 기기는 종종 부식으로부터 기기를 보호하기 위한 생체의료 코팅을 가지고 있으며, 일부는 조직 손상, 감염, 또는 이식 거부 반응과 같은 합병증을 예방하는 역할을 합니다. 약물 전달 코팅의 두께를 측정하는 것도 흔한 응용 분야입니다. Filmetrics 장비는 샘플 전처리 없이도 비파괴 방식으로 빠르고 신뢰할 수 있는 두께 측정을 제공합니다.

디스플레이: OLED 계측

유기 발광 다이오드(OLED)는 휴대전화와 TV를 비롯한 다양한 디스플레이 기기에 사용됩니다. OLED 디스플레이를 구성하는 수많은 박막을 정확하게 계측하는 것은 매우 중요하며, OLED 두께를 효과적으로 측정하기 위해서는 비접촉 측정 시스템이 필요합니다. 당사의 F20-UV, F40-UV 박막 두께 측정 장비와 F10-RT-UV 반사율 측정 장비는 단순한 프로토타입 기기와 완전한 픽셀 디스플레이에 대해 비용 효율적이고 견고하며 비침습적인 계측 솔루션을 제공합니다. 당사의 OLED 측정 장비는 분광 방식이기 때문에 대기 환경에 민감한 소재에서 발생할 수 있는 화학적 변화를 감지하는 것도 가능합니다. OLED 박막 샘플의 두께 측정을 위한 무료 체험 서비스도 제공합니다.

반도체: 감광재 두께 측정

Filmetrics F20, Filmetrics F3-sX, Filmetrics F50/F60-t와 같은 여러 단일 지점 탁상형 및 매핑 장비는 단층, 다층, 심지어 자유롭게 서 있는 감광재 박막의 두께와 식각 속도를 측정할 수 있습니다. 모든 Filmetrics 모델은 분광 반사율을 정확하게 모델링하여 감광재 두께(및 굴절률)를 측정합니다. 특수한 독점 알고리즘을 통해 견고한 "원클릭" 분석이 가능하며 결과는 보통 1초 이내에 확인할 수 있습니다. SU-8 두께, Dow BCB 두께 및 기타 두꺼운 감광재 측정은 Filmetrics 제품 계열의 자주 활용되는 응용 분야입니다.

다공성 실리콘 박막 측정

다공성 실리콘은 광학 소자, 가스 센서, 생체의료 기기를 포함한 다양한 분야에서 폭넓게 활용됩니다.

다공성 박막 측정에서 중요한 항목은 층 두께와 기공률입니다. 일반적으로, 기공률 측정을 위해 비파괴 방식인 중량 분석법이 사용되지만, 이 방법은 정확도가 매우 낮은 편입니다. F20, F40 및 F50 장비와 같은 Filmetrics^® 장비는 다공성 실리콘의 층 두께, 굴절률 및 기공률을 단 한 번의 클릭으로 확인할 수 있는 고유한 분석 알고리즘을 제공합니다.

반도체 공정 박막 측정

Filmetrics^® 장비는 비금속 반도체 공정 박막의 두께와 굴절률을 측정할 수 있는 다양한 장비와 시스템을 폭넓게 제공합니다.

널리 사용되는 Filmetrics F20 범용 박막 두께 측정 장비는 두께와 굴절률의 단일 스팟 측정을 위한 가장 경제적인 솔루션입니다.

Filmetrics F40 현미경 기반 박막 두께 측정 장비는 최소 1미크론 이하의 소형 측정 지점을 위한 두께 측정에 적합하며, 사용자의 현미경에 간편하게 부착할 수 있습니다.

Filmetrics F50 박막 매핑 장비는 박막 두께를 정확하게 측정하고 블랭킷 필름의 각 지점을 자동으로 매핑합니다.

또는, 소형 측정 지점 크기와 패턴 인식이 필요한 제품 웨이퍼는 Filmetrics F54-XY가 탁월한 선택이 될 수 있습니다.

당사의 특허받은 두께 이미징 기술은 기존 박막 계측 장비에 비해 설치가 간편하고 레시피 수가 적으며 패턴 인식이 더 견고하고 비용 또한 훨씬 낮습니다. 독립형 버전과 통합형 버전 모두 제공됩니다.

실리콘 웨이퍼 및 멤브레인 두께 측정

Filmetrics^® 시스템은 실리콘 웨이퍼 두께 측정과 멤브레인 두께 측정을 위한 탁상형, 매핑형 및 생산 시스템을 포함합니다. 일반적으로, 측정되는 웨이퍼 재료에는 단일 또는 이중 연마된 실리콘, 사파이어, 용융 실리카, SiC, LiTaO₃, GaN 및 유리 등이 포함됩니다.

당사의 기술 전문가들이 다양한 두께 범위나 단일 지점 측정과 박막 매핑 측정 요구 사항 등, 귀하의 두께 측정 요구에 맞는 최적의 Filmetrics 장비를 찾는 데 도움을 드립니다.

태양광 측정

Filmetrics^® F20 박막 분석 장비는 수십 개의 박막 태양광(TFPV) 제조업체에서 세 가지 유형의 태양광 활성층 두께 및 광학 상수를 측정하는 데 사용됩니다. TCO 위에 있는 태양광 활성층을 측정하기 위해, Filmetrics 전문가들은 자체 제작 및 유리 공급업체의 단일 또는 다층 TCO 적층 특성화에 대한 풍부한 경험을 보유하고 있습니다.

또한 당사는 폴리이미드, 반사 방지 코팅 및 감광재를 포함한 필름 측정을 위한 탁상형, 매핑형 또는 인라인 솔루션도 제공합니다.

반도체 제조 교육 실험실

Filmetrics F20 시스템은 전 세계의 교육 실험실에서 공학 학생들에게 분광 반사율 원리에 대해 교육하는 데 사용됩니다. 당사는 실험실 수업에서 사용되는 장비에 대해 대학에 특별 할인을 제공합니다.

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웹 두께 측정 및 폴리머 필름 두께 측정

플라스틱 및 폴리머 제조 과정에서는 플라스틱 필름 두께와 폴리머 필름 두께가 품질에 중요한 여러 지점이 있습니다. 여기에는 전체 필름 두께(최대 1mm), 공출 성분 층 두께, 그리고 웹 두께 측정이 포함됩니다. PET 코팅의 경우, 필름 두께 측정은 당사의 F20-UV로 가능합니다. 이 장비는 매우 얇은 층(~10nm)과 에너지 기반 플라즈마 표면 처리까지 측정할 수 있습니다. 당사의 표준 F20 장비는 0.05~50µm 두께 범위의 하드코트와 같은 널리 사용되는 코팅을 측정할 수 있습니다.

당사는 PET, 폴리카보네이트, 셀룰로직스, 폴리올레핀을 포함한 다양한 폴리머 박막과 전도성 폴리머와 같은 보다 특이한 소재에 대한 광범위한 굴절률 계수 데이터베이스를 보유하고 있습니다.

각각의 응용 분야는 고유한 도전 과제를 제공하며, 당사는 웹 두께 및 폴리머 필름 두께 측정에 적합한 솔루션을 제공할 수 있는 소프트웨어, 하드웨어, 응용 지식을 보유하고 있습니다.