인증 & 재생산

기판 제조

Surfscan® Series

비패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

Surfscan® 비패턴 웨이퍼 검사 시스템은 반도체 소자의 성능과 신뢰성에 영향을 주는 결함과 표면 품질 문제를 식별합니다. 파묻힌 결함 및 표면 결함을 신속하게 분리하고 설비, 공정 및 재료를 검증하고 모니터링하여 IC, OEM, 재료 및 기판 제조를 지원합니다.

애플리케이션

공정 검증 설비 검증, 설비 모니터링, 출하 웨이퍼 품질 관리, 입고 웨이퍼 품질 관리, 감광재 및 스캐너 검증, 공정 문제 찾기.

관련제품

Surfscan SP2XP:

≥ 45nm 설계 노드 기술을 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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Surfscan SP2:

기술 ≥ 65nm 설계 노드를 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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Surfscan SP1DLS Pro:

90nm 이상의 설계 노드를 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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Surfscan SP1TBI Pro:

≥ 130nm 설계 노드 기술을 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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인증 및 재생산

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