인증 & 재생산

결함 검사

Surfscan® Series

비패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

Surfscan® 비패턴 웨이퍼 검사 시스템은 반도체 소자의 성능과 신뢰성에 영향을 주는 결함과 표면 품질 문제를 식별합니다. 파묻힌 결함 및 표면 결함을 신속하게 분리하고 설비, 공정 및 재료를 검증하고 모니터링하여 IC, OEM, 재료 및 기판 제조를 지원합니다.

애플리케이션

공정 검증 설비 검증, 설비 모니터링, 출하 웨이퍼 품질 관리, 입고 웨이퍼 품질 관리, 감광재 및 스캐너 검증, 공정 문제 찾기.

관련제품

Surfscan SP2XP:

≥ 45nm 설계 노드 기술을 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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Surfscan SP2:

기술 ≥ 65nm 설계 노드를 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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Surfscan SP1DLS Pro:

90nm 이상의 설계 노드를 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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Surfscan SP1TBI Pro:

≥ 130nm 설계 노드 기술을 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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2835, 2367

광대역 플라즈마 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

2835 및 2367 광대역 플라즈마 결함 검사 시스템은 광학 패턴 결함 검사에 대해 업계에서 증명된 성능을 제공하여 ≥ 45nm 로직, 메모리 및 특화 소자에서 수율에 중대한 영향을 미치는 결함을 검출하고 모니터링할 수 있습니다. 각 모델에는 선택 가능한 파장 빛입사, 이미징 픽셀, 광학 모드와 노이즈 억제 및 결함 분리를 위한 고급 알고리즘이 고유하게 장착되어 있어 가장 중요한 단계를 위한 비용 효율적인 인라인 검사 제어를 제공합니다.

애플리케이션

인라인 결함 검출 및 모니터링, 핫스팟 검출, 엔지니어링 분석, 공정 마진 창 검증, 포토 셀 모니터링

관련제품

2835:

≥45nm 설계 노드를 대상으로 하는 광대역 DUV-UV-가시광 스펙트럼이 있는 패턴 웨이퍼 검사 시스템

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2367:

≥65nm 설계 노드를 대상으로 하는 광대역 UV-가시광선 스펙트럼이 있는 패턴 웨이퍼 검사 시스템

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인증 및 재생산

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