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Surfscan® 시리즈

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Surfscan® 시리즈

비패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

Surfscan® 비패턴 웨이퍼 검사 시스템은 반도체 소자의 성능과 신뢰성에 영향을 주는 결함과 표면 품질 문제를 식별합니다. 파묻힌 결함 및 표면 결함을 신속하게 분리하고 설비, 공정 및 재료를 검증하고 모니터링하여 IC, OEM, 재료 및 기판 제조를 지원합니다.

응용분야

공정 검증 설비 검증, 설비 모니터링, 출하 웨이퍼 품질 관리, 입고 웨이퍼 품질 관리, 감광재 및 스캐너 검증, 공정 문제 찾기.

관련 상품

Surfscan SP2XP: ≥ 45nm 설계 노드 기술을 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

Surfscan SP2: 기술 ≥ 65nm 설계 노드를 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

Surfscan SP1DLS Pro: 90nm 이상의 설계 노드를 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

Surfscan SP1TBI Pro: ≥ 130nm 설계 노드 기술을 대상으로 하는 비패턴 웨이퍼 검사 시스템.

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2835, 2367

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2835, 2367

광대역 플라즈마 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

2835 및 2367 광대역 플라즈마 결함 검사 시스템은 광학 패턴 결함 검사에 대해 업계에서 증명된 성능을 제공하여 ≥ 45nm 로직, 메모리 및 특화 소자에서 수율에 중대한 영향을 미치는 결함을 검출하고 모니터링할 수 있습니다. 각 모델에는 선택 가능한 파장 빛입사, 이미징 픽셀, 광학 모드와 노이즈 억제 및 결함 분리를 위한 고급 알고리즘이 고유하게 장착되어 있어 가장 중요한 단계를 위한 비용 효율적인 인라인 검사 제어를 제공합니다.

응용분야

인라인 결함 검출 및 모니터링, 핫스팟 검출, 엔지니어링 분석, 공정 마진 창 검증, 포토 셀 모니터링

관련 상품

2835: ≥45nm 설계 노드를 대상으로 하는 광대역 DUV-UV-가시광 스펙트럼이 있는 패턴 웨이퍼 검사 시스템

2367: ≥65nm 설계 노드를 대상으로 하는 광대역 UV-가시광선 스펙트럼이 있는 패턴 웨이퍼 검사 시스템

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Puma 91xx

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Puma 91xx

레이저 스캐닝 패턴 웨이퍼 결함 검사 시스템

Puma 9130 및 9150 레이저 이미징 검사기는 UV 빛입사 광학계와 여러 고속 이미징 센서를 결합하여 패턴화된 생산 웨이퍼에서 중요한 결함 인라인 검출을 위한 다양한 광학 모드를 제공합니다. 91xx는 높은 샘플링 속도, 높은 처리량 및 고감도를 제공하여 중요한 전반 공정 (FEOL) 및 후반 공정(BEOL) 층에서 수율에 영향을 미치는 결함을 보다 효과적으로 검출하고 제어할 수 있습니다. 91xx는 완전한 혼합, 맞춤형 패턴 웨이퍼 검사 전략을 위해 KLA 2367 전체 스펙트럼 UV/가시광선 및 2835 DUV/UV/가시광 명시야 검사기를 보완합니다.

응용분야

라인 모니터, 설비 모니터, 설비 검증, 박막 결함, 포토셀 모니터링, 노광 후 검사

관련 상품

Puma 9150: UV 빛입사 레이저 기반 이미징 기술을 사용한 패턴 웨이퍼 검사. 9150은 성능 향상을 위해서 수직 빛입사, 향상된 데이터 속도, 새로운 광학 모드를 추가하여 9130을 확장합니다

Puma 9130: UV 빛입사 레이저 기반 이미징 기술을 사용한 패턴 웨이퍼 검사

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eDR-5210

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eDR-5210

e-Beam 웨이퍼 결함 리뷰 및 분류 시스템

eDR-5210 전자빔(e-빔) 웨이퍼 결함 리뷰 및 웨이퍼 분류 시스템은 결함으로부터 고해상도 이미지를 검출하여 웨이퍼의 결함 개체수를 정확하게 표시합니다. eDR은 IC 및 웨이퍼 제조 중 더 빠른 수율 학습을 위해 KLA 검사기에 독특한 연결성을 제공합니다.

응용분야

결함 이미징, 자동 인라인 결함 분류 및 성능 관리, 베어 웨이퍼 출하 및 입고 품질 관리, 웨이퍼 분류, 핫스팟 검출, 결함 검출, 공정 마진 창 검출, 공정 마진 창 검증, 빗면 가장자리 리뷰

eDR® 은 KLA Corporation의 등록 상표입니다.

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