KLA는 자동차 산업이 엄격한 전장부품 품질 표준을 달성하도록 지원하고 있습니다. 이를 위해 당사는 자동차 전장부품에 동력을 공급하는 반도체 칩의 높은 수율과 신뢰성, 성능을 보장하는 4가지 신제품을 선보였습니다.
자동차의 전동화, 자율 주행, 연결성 분야의 혁신을 위해서는 반도체 칩으로 구동되는 더 많은 전장부품의 통합이 필요합니다. 오늘날의 차량에는 차량의 눈, 귀, 두뇌 역할을 하는 수천 개의 반도체 칩이 포함되어 있으며, 이는 환경을 감지하고, 결정을 내리며, 동작을 제어합니다. 이러한 반도체 칩의 신뢰성은 매우 중요하며, 반도체 칩 제조업체는 칩이 차량에 통합되기 전에 공장에서 잠재적인 반도체 칩 고장을 발견하고 완화하는 방법을 찾아야 합니다.
KLA의 공정 제어 시스템은 반도체 칩 제조업체가 자동차 산업의 엄격한 품질 표준을 충족하도록 지원합니다. 세 가지 새로운 검사 시스템은 더 큰 설계 노드 장치용 반도체 칩 제조의 모든 단계에서 결함 발견, 모니터링, 제어 기능을 제공합니다. 또한, 혁신적인 자동 인라인 스크리닝 솔루션은 자동차 반도체 칩이 철저한 품질 표준을 충족하도록 지원합니다.
Surfscan® SP A2 및 SP A3 무패턴 웨이퍼 검사 시스템은 반도체 칩 수율 및 신뢰성에 영향을 미치는 중요한 결함과 표면 품질 문제를 감지하여 공정 및 공정 장비의 검증과 모니터링을 지원합니다.
R&D 및 생산 램프에 대한 높은 감도를 갖춘 C205 광대역 플라즈마 광학 패턴 웨이퍼 검사 시스템은 중요한 결함을 발견하고 정확하게 버려서 반도체 칩 신뢰성 및 수율을 개선하는 데 사용되는 실행 가능한 데이터를 생성합니다.
대량 생산 작업에서, 8935 고생산성 패턴 웨이퍼 검사 시스템은 고급 웨이퍼 샘플링을 통해 여러 중요한 결함을 포착하여 수율 또는 신뢰성 관련 변동의 식별을 지원합니다.
I-PAT®(인라인 결함 부품 평균 테스트) 솔루션은 KLA 검사 및 데이터 분석 시스템에서 실행되며, 자동차 반도체 칩 제조업체는 인비정상적 결함군을 식별하여 위험에 처한 칩이 공급망에 진입하기 전에 팹에서 제거할 수 있습니다.
기타 자세한 정보는 보도 자료에서 확인할 수 있습니다.
이 새로운 제품군은 자동차 전장부품 생태계의 여러 부분을 지원하는 검사, 계측, 데이터 분석, 공정 시스템을 KLA의 종합적인 포트폴리오로 확장합니다. KLA 시스템이 지속적인 개선 프로그램 및 무결점 목표 등과 같은 자동차 이니셔티브를 어떻게 지원하는지 자동차 솔루션 페이지에서 확인해 보세요.