4探針プローブ
4探針プローブ
半導体の世界では、薄膜やバルク材料のシート抵抗と抵抗率を測定・モニターするために電気的な測定システムが不可欠です。 シート抵抗マッピングシステム用に、さまざまな半径とピン間隔を備えた4探針プローブを提供しています。これらは、金属の測定、インプラント測定、高インピーダンス表面測定など多様なアプリケーションに使用されます。当社の4探針プローブは、薄膜や半導体のシート抵抗の測定において、信頼性の高い正確な測定方法を提供します。 条件決めのための基板や、予備の4探針プローブを含む交換部品の注文については、弊社までお問い合わせください。これらの交換用アクセサリーは、R50およびR54の4探針プローブの両システムで使用可能です。Filmetrics® の4探針プローブを使用することで、正確かつ精密な測定が保証されます。
CondWafer-4PP
4探針プローブコンディショニングウェーハパック。
4PP-TypeA
間隔1mm、先端半径40µm、100gmの4探針プローブ。 金属測定用。
4PP-TypeB
間隔1mm、先端半径100µm、100gmの4探針プローブ。 汎用的なインプラント測定向け。
4PP-TypeC
間隔1mm、先端半径200µm、100gmの4探針プローブ。 インプラント/高インピーダンス表面測定用。
4PP-TypeD
間隔1mm、先端半径500µm、100gmの4探針プローブ。 困難なインプラント/高インピーダンス表面測定に適しています。
4PP-TypeE
間隔1.6mm、先端半径40µm、200gmの4探針プローブ。 基板/バルク測定に最適です。
4PP-TypeF
0.625mm間隔、40µm先端半径、100gmの4探針プローブ。 金属測定用。
4PP-TypeG
0.6mm間隔、100µm先端半径、100gmの4探針プローブ。 汎用的なインプラント測定向け。
4PP-TypeH
0.6mm間隔、200um先端半径、100gmの4プローブ。 インプラント/高インピーダンス表面測定用。
4PP-TypeI
0.6mm間隔、500um先端半径、100gmの4探針プローブ。 難しいインプラント/高インピーダンス表面測定に適しています。