製品説明
Filmetrics F32アドバンスト分光測定システムは、ハーフ3Uラックマウントに入っており、分光器を追加することで、最大4ポイント(-EXRおよび-UVXでは最大2ポイント)の測定が可能です。F32ソフトウェアは、デジタルI/Oまたはホストソフトウェアを介して制御することで、測定の開始、停止、リセットを行うことができます。測定データは、統計的工程管理(SPC)用のホストソフトウェアに自動的にエクスポートすることができます。
製品の特長
- オプションのレンズアセンブリにより、既存の生産治具への取付が容易
- 付属のソフトウェアとUSB接続により、F32をWindowsのPCに簡単にインストール可能
- 100種類以上の材料データライブラリを備えたFILMeasureソフトウェアにより、単層および多層の高速測定が可能
- 高度なトレーニングを受けたアプリケーションエンジニアによる、電話・メール・オンラインサポート
アプリケーション
- 膜厚をインラインでリアルタイムに測定
- 成膜速度、光学定数、材料の均一性を測定
業界
- 半導体
- 化合物半導体