製品説明
Filmetrics® F60-tシリーズは、生産現場に特化して設計された複数の機能を追加し、F50シリーズの膜厚および屈折率マッピング機能をさらに強化しています。これには、自動ノッチ検出機能、自動ベースライン、モーションインターロック付きの密閉型測定ステージ、ソフトウェアがプリインストールされたFAコンピュータが含まれます。
F60-tの高度な分光反射率測定システムにより、膜厚と光学定数を、素早くかつ簡単にマッピングできます。電動Rシータステージは、選択した測定ポイントに自動的に移動し、数秒以内に測定を提供します。
製品の特長
- 業界をリードする薄膜測定技術
- 直感的に使用できる分析ソフトウェアがすべてのシステムに標準搭載
- オンライン診断機能
- 130以上の材料がライブラリに含まれ、すべてのシステムに標準装備
- 高度な訓練を受けたアプリケーションエンジニアによる電話、Eメール、オンラインサポート
- システムには、内蔵の分光器/光源ユニット、TS-SiO2-4-7200膜厚サンプル、4インチ、6インチ、200mmウェーハリファレンスなどが含まれています。
アプリケーション
- 自動膜厚測定
- 光学定数のマッピング
業界
半導体製造:
- フォトレジスト、酸化物/窒化物/ポリシリコンのバックグラインディング
液晶ディスプレイ(LCD):
- セルギャップ、ポリイミド
光学コーティング:
- ハードコートの膜厚、反射防止コーティング、フィルター
詳細については「業界」タブをご覧ください
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