集積回路（IC）の故障解析

故障解析（FA）技術は、集積回路（IC）の故障原因を発見・特定するために使用されます。KLA Instrumentsは、集積回路の故障解析の手順で用いる機器を提供しています。

フロントサイド・ディレイヤリング：フロントサイド・ディレイヤリングのプロセスは、誘電体層の薄化後に残っている誘電体膜の厚さを知る必要があるIC故障解析アプリケーションの一種です。 Filmetrics^®F40 顕微鏡式膜厚測定システムは、このIC故障解析のアプリケーションに最適です。

ITO膜厚

正確な屈折率の値を用いて、酸化インジウムスズ（ITO）およびその他の透明導電性酸化物（TCO）の膜厚を測定します。Filmetricsのシステムでは、ポリイミド、ハードコート、液晶、OLED層、発光層、注入層、バッファ層、カプセル化層を含む液晶層を測定できます。 ITO層測定に関する課題の詳細については、アプリケーションノートをご覧ください。

バイオメディカルコーティングの厚さ測定

Filmetricsのシステムでは、ワンクリックするだけで、カテーテルや血管形成術バルーン、ステント、ガイドワイヤー、針、その他のインプラントなど、生物医学アプリケーション用のコーティングの厚さを測定できます。バイオメディカルデバイスには、腐食からデバイスを保護する特殊なコーティングが施されており、また、組織外傷、感染、拒絶反応などの合併症から保護するコーティングもあります。 ドラッグデリバリーデバイスのコーティング厚の測定も一般的なアプリケーションです。 Filmetricsのシステムは、非破壊的でサンプル準備を必要としない、素早く信頼性の高い膜厚測定を提供しています。

ディスプレイ：OLED の測定

有機発光ダイオード（OLED）は、携帯電話やテレビを含む多くのディスプレイデバイスに使用されています。OLEDディスプレイを構成する多数の薄膜の厚さは非常に重要であり、OLEDの厚さを効果的に測定するには、非接触の測定システムが必要です。 F40-UV顕微鏡式膜厚測定システムは、シンプルなプロトタイプデバイスやフルピクセル化されたディスプレイの、安価で堅牢な非接触測定を提供します。 弊社のOLED測定システムは分光器であるため、これらの空気に敏感な材料に起こる化学変化を検出することもできます。 また、OLEDサンプルの膜厚測定をお試し頂けます。

多孔質シリコンの薄膜測定

多孔質シリコンは、光学デバイス、ガスセンサー、生物医学デバイスなど、さまざまな用途で広く使用されています。

業界で注目される多孔質薄膜の測定には、層厚と空孔率が含まれます。 一般的に、質量測定などの非破壊的方法を使用して空隙率を測定しますが、この方法の精度は非常に低いです。 Filmetrics^® F40には、マウスを1回クリックするだけで、多孔質シリコンの層厚、インデックス、空隙率を明らかにする独自の分析アルゴリズムが含まれています。

半導体プロセスフィルムの測定

Filmetrics^®のプロダクトラインは、非金属半導体プロセスフィルムの厚さと屈折率を測定するための幅広い機器とシステムを提供しています。

Filmetrics F40顕微鏡式膜厚測定システムは、小さいスポット径（1ミクロン以下）で膜厚測定するため、顕微鏡に取り付けて使用します。

当社の特許取得済みの膜厚イメージング技術により、従来の膜厚測定システムに比べ、セットアップが容易になり、より少ないレシピで、より堅牢なパターン認識により、コストが大幅に削減されます。スタンドアロンバージョンとインテグレーテッドバージョンの両方が提供されています。