Filmetrics® Thin-Film Thickness Measurement Systems
Filmetrics®膜厚測定システム
Filmetrics®の膜厚測定システムは、ベンチトップおよび生産現場の両方で、透明膜の膜厚と屈折率を数秒で測定します。
シングルスポット膜厚測定システム
マウスを1回クリックするだけで、膜厚と屈折率を測定できる卓上式の膜厚測定システムです。1nm～3mmの膜厚を測定できます。多層膜の測定も可能です。
Filmetrics® F10-HC
平面および曲面上のハードコート膜および防曇膜の厚さと屈折率を測定します。 ポリカーボネートにハードコートを施す自動車産業やその他の関連業界で人気があります。
顕微鏡式膜厚測定システム
数ミクロンまでの小測定スポット測定が必要な場合にご使用頂く、顕微鏡式膜厚測定装システムです。お持ちの顕微鏡に取り付けるか、弊社の分光専用顕微鏡を用いてご使用頂けます。
自動マッピング膜厚測定システム
ほぼ全てのウエーハサイズに対応しており、自動で膜厚および屈折率のマッピングを行います。
Filmetrics® F50自動マッピング膜厚測定システム
F20シリーズに自動マッピング機能を追加したシステムです。 膜厚と光学定数を、1秒あたり2ポイントの速度でマッピングします。
Filmetrics® F54-XY-200およびF54-XY-300自動膜厚マッピングシステム
最大200mm × 200mm、または最大直径300mmのパターンあし／パターンなしサンプルの膜厚を、最速で1秒あたり2ポイントの速さでマッピングします。
Filmetrics® F60-t製造現場向け自動膜厚マッピングシステム
生産現場対応の卓上式自動マッピング膜厚測定システムには、オンボードのリファレンス、ノッチ検出機能、インターロック付きカバーなどが含まれています。
インライン膜厚測定システム
生産ラインで製造中に膜厚をモニターおよび制御します。多点で最大100Hzのサンプリングレートを実現可能です。
イノベーションの歩み
1995年に最初の薄膜測定装置を発売して以来、Filmetricsの技術者は、AutoBaseline™、イメージを用いたパターン認識、内蔵の自動波長較正機能など、数々の重要なイノベーションを生み出し続けています。20年以上にわたり、Filmetricsが提供する革新的な技術と卓越したアプリケーションサポートは、薄膜計測において繰返し性や信頼性の高い測定を顧客に提供してきました。イノベーションの豊かな歴史をご覧頂き、なぜFilmetricsのシステムが薄膜測定のスタンダードになっているのかをご確認ください。
当社の製品がどのようにお役に立つかをご覧ください。
その他のソリューションを見る
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Instruments
KLA Instrumentsは、世界の革新技術を支えるため、業界の専門家、学者、その他のイノベーターに、信頼性のある計測および欠陥検査ソリューションを提供ます。
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Filmetrics®シート抵抗測定システム
Filmetrics®の卓上式自動マッピングシート抵抗測定システムは、数十年にわたって培われた抵抗測定の技術革新と専門知識を駆使して開発されました。
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Filmetrics® and Zeta™ 光学式表面形状測定システム
Filmetrics® Profilm3D® および Zeta™ は光学式の表面形状測定システムです。白色干渉や ZDot™ 測定技術を用いて、3D 段差、粗さ、その他の表面形状を、素早く簡単に非接触で測定します。研究開発だけでなく製造現場でもご使用頂けます。
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