日本

Filmetrics®製品選択ガイド

絞り込み条件

  • 膜厚範囲（μm）

    .001 1,000+ µm
  • カメラが必要ですか？

光学プロファイラ

モデル 膜厚範囲 視野 サンプリング間隔
Profilm3D® 0.001 - 500µm 2.0 x 1.7mm 0.88µm

シングルスポット測定システム

モデル 膜厚範囲 波長範囲 標準スポットサイズ
F3-s980 10 - 1000µm 960 - 1000nm 10µm
F3-s1310 15 - 2000µm 1280 - 1340nm 10µm
F3-s1550 25 - 3000µm 1520 - 1580nm 10µm
F3-CS 0.015 - 70µm 380 - 1050nm 100µm
F3-CS-UV 0.003 - 40µm 190 - 1100nm 100µm
F3-CS-NIR 0.100 - 250µm 950 - 1700nm 100µm
F10-AR 0.2 - 15µm 380 - 1050nm 100µm
F10-AR-EXR 0.2 - 30µm 380 - 1700nm 100µm
F10-AR-NIR 0.5 - 30µm 950 - 1700nm 100µm
F10-AR-UV 0.1 - 15µm 190 - 1100nm 100µm
F10-AR-UVX 0.1 - 30µm 190 - 1700nm 100µm
F10-ARc 0.2 - 15µm 380 - 1050nm 100µm
F10-HC 0.05 - 70µm 380 - 1050nm 200µm
F20 0.015 - 70µm 380 - 1050nm 1500µm
F20-EXR 0.015 - 250µm 380 - 1700nm 1500µm
F20-NIR 0.1 - 250µm 950 - 1700nm 1500µm
F20-UV 0.001 - 40µm 190 - 1100nm 1500µm
F20-UVX 0.001 - 250µm 190 - 1700nm 1500µm
F20-XT 0.2 - 450µm 1440 - 1690nm 1500µm
F40 0.02 - 20µm 400 - 850nm 25µm
F40-EXR 0.02 - 115µm 400 - 1700nm 25µm
F40-NIR 0.1 - 115µm 950 - 1700nm 25µm
F40-UV 0.004 - 40µm 190 - 1100nm 25µm
F40-UVX 0.004 - 115µm 190 - 1700nm 25µm

インライン測定システム

モデル 膜厚範囲 波長範囲 標準スポットサイズ
F32 0.015 - 70µm 380 - 1050nm 1500µm
F32-EXR 0.015 - 250µm 380 - 1700nm 1500µm
F32-NIR 0.1 - 250µm 950 - 1700nm 1500µm
F32-UV 0.003 - 40µm 190 - 1100nm 1500µm
F32-UVX 0.003 - 250µm 190 - 1700nm 1500µm
F32-XT 0.2 - 450µm 1440 - 1690nm 1500µm

多点マッピングシステム

モデル 膜厚範囲 波長範囲 標準スポットサイズ
F50 0.02 - 70µm 380 - 1050nm 1500µm
F50-EXR 0.02 - 250µm 380 - 1700nm 1500µm
F50-NIR 0.1 - 250µm 950 - 1700nm 1500µm
F50-UV 0.005 - 40µm 190 - 1100nm 1500µm
F50-UVX 0.005 - 250µm 190 - 1700nm 1500µm
F50-XT 0.2 - 450µm 1440 - 1690nm 1500µm
F50-s980 4 - 1000µm 960 - 1000nm 10µm
F50-s1310 7 - 2000µm 1280 - 1340nm 10µm
F50-s1550 10 - 3000µm 1520 - 1580nm 10µm
F50-450 0.02 - 70µm 380 - 1050nm 1500µm
F50-450-EXR 0.02 - 250µm 380 - 1700nm 1500µm
F50-450-NIR 0.1 - 250µm 950 - 1700nm 1500µm
F50-450-UV 0.005 - 40µm 190 - 1100nm 1500µm
F50-450-UVX 0.005 - 250µm 190 - 1700nm 1500µm
F54 0.02 - 45µm 380 - 1050nm 25µm
F54-EXR 0.02 - 115µm 380 - 1700nm 25µm
F54-NIR 0.1 - 115µm 950 - 1700nm 25µm
F54-UV 0.004 - 35µm 190 - 1100nm 25µm
F54-UVX 0.004 - 115µm 190 - 1700nm 25µm
F54-XY 0.02 - 50µm 380 - 1050nm 25µm
F54-XY-UV 0.004 - 35µm 190 - 1100nm 25µm
F54-XY-NIR 0.1 - 115µm 950 - 1700nm 25µm
F54-XY-EXR 0.02 - 115µm 380 - 1700nm 25µm
F54-XY-UVX 0.004 - 115µm 190 - 1700nm 25µm
F60-c 0.02 - 70µm 380 - 1050nm 1500µm
F60-c-UV 0.005 - 40µm 190 - 1100nm 1500µm
F60-c-NIR 0.1 - 250µm 950 - 1700nm 1500µm
F60-c-EXR 0.02 - 250µm 380 - 1700nm 1500µm
F60-c-UVX 0.005 - 250µm 190 - 1700nm 1500µm
F60-c-XT 0.2 - 450µm 1440 - 1690nm 1500µm
F60-c-s1310 7 - 2000µm 1280 - 1340nm 10µm
F60-t 0.02 - 70µm 380 - 1050nm 1500µm
F60-t-EXR 0.02 - 250µm 380 - 1700nm 1500µm
F60-t-NIR 0.1 - 250µm 950 - 1700nm 1500µm
F60-t-UV 0.005 - 40µm 190 - 1100nm 1500µm
F60-t-UVX 0.005 - 250µm 190 - 1700nm 1500µm
F60-t-XT 0.2 - 450µm 1440 - 1690nm 1500µm
F60-t-s980 4 - 1000µm 960 - 1000nm 10µm
F60-t-s1310 7 - 2000µm 1280 - 1340nm 10µm
F60-t-s1550 10 - 3000µm 1520 - 1580nm 10µm

Are you sure?

You've selected to view this site translated by Google Translate.
KLA China has the same content with improved translations.

Would you like to visit KLA China instead?

您已选择查看由Google翻译翻译的此网站。
KLA中国的内容与英文网站相同并改进了翻译。

你想访问KLA中国吗？

If you are a current KLA Employee, please apply through the KLA Intranet on My Access.

Exit