3D Optical Profilometers
3D Optical Profilometers
Profilm3D®光学式表面形状測定システムとZeta™オプティカルプロファイラーは、3次元表面形状測定のための迅速かつ簡単な非接触光学式のシステムです。 当社の3次元オプティカルプロファイラーは、白色干渉法、トゥルーカラー画像、ZDot™共焦点グリッド照明など、さまざまな測定技術に対応しています。 KLA Instrumentsは、お客様のニーズに合った3Dオプティカルプロファイラーソリューションをご提案します。
Filmetrics® Profilm3D®光学式表面形状測定システム
Profilm3D®は卓上の光学式表面形状測定システムで、白色干渉法、TotalFocus®無限深度画像、強化粗さモードにより、段差、粗さ、その他の3次元表面形状を非接触で簡単に測定します。
イノベーションの歩み
KLA Instruments™の光学プロファイラーポートフォリオの歴史は、多様な起源からの革新の物語です。ADEはMicroXAM干渉計を発表しました。Zeta™ InstrumentsはZDot™とマルチモード光学プロファイラーを開発しました。Filmetrics®は、新たな汎用白色光干渉計を導入しました。これらの製品は、光学プロファイラーの多様なポートフォリオに統合され、現在はKLA Instrumentsブランドの下で統一されています。私たちの豊かな革新の歴史と、私たちのツールがどのように進化し続け、あなたの表面計測要件をサポートしているかについて、ぜひ詳しくお学びください。
当社の製品がどのようにお役に立つかをご覧ください。
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Instruments
KLA Instrumentsは、世界の革新技術を支えるため、業界の専門家、学者、その他のイノベーターに、信頼性のある計測および欠陥検査ソリューションを提供ます。
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Filmetrics®シート抵抗測定システム
Filmetrics®の卓上式自動マッピングシート抵抗測定システムは、数十年にわたって培われた抵抗測定の技術革新と専門知識を駆使して開発されました。
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Filmetrics®膜厚測定システム
Filmetrics® の膜厚測定システムは、ベンチトップおよび生産現場の両方で、透明膜の膜厚と屈折率を数秒で測定します。
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