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製品

Filmetrics®シート抵抗測定システム

Filmetrics®の卓上式自動マッピングシート抵抗測定システムは、数十年にわたって培われた抵抗測定の技術革新と専門知識を駆使して開発されました。

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thin-film reflectometers

Filmetrics®膜厚測定システム

Filmetrics® の膜厚測定システムは、ベンチトップおよび生産現場の両方で、透明膜の膜厚と屈折率を数秒で測定します。

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Profilm3D Optical Profilometer

Filmetrics® and Zeta™ 光学式表面形状測定システム

Filmetrics® Profilm3D® および Zeta™ は光学式の表面形状測定システムです。白色干渉や ZDot™ 測定技術を用いて、3D 段差、粗さ、その他の表面形状を、素早く簡単に非接触で測定します。研究開発だけでなく製造現場でもご使用頂けます。

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ツールとソフトウェア

Filmetrics®分光反射率シミュレーション

当社の反射率シミュレーション機能を使えば、最大20層の薄膜干渉による反射率を計算できます。

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Filmetrics® 屈折率データベース

一般的な材料の屈折率は、当社の充実したデータベースで検索できます。

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Filmetrics®製品選択ガイド

最適なFilmetricsシステムの選択するには、弊社の製品選択ガイドをご活用ください。

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サービス

サービス

KLAインスツルメンツのサービスグループは、お客様の多様なニーズに対応し、稼働時間の最大化を支援するため、スピーディかつ柔軟で機動的なサポートオプションをグローバルネットワークで提供しています。

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