KLA是国际高级图案解决方案研讨会IWAPS的赞助商。除了KLA的赞助之外,Kevin Huang博士受邀出席研讨会,作题为“Future patterning challenges: It’s not 2D, it’s 3D.”的主题报告。
IWAPS 为全球工业和研究机构的专家提供交流平台,探讨先进的图案化解决方案以及其面临的挑战,如材料,设备,工艺,计量,计算光刻和设计优化。
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