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Castor™
高生產力圖形晶圓檢測與量測系統
Castor™ 圖形晶圓檢測系統這套全功能解決方案，可解決矽晶有機發光二極體 (OLEDoS) 製造的良率關鍵難題。這套高生產力系統在單次執行中就能提供缺陷檢測、審查和 3D 量測。這套採用先進分類法的高靈敏度缺陷檢測支援整個製程的品質控制策略，包括陽極層沉積、薄膜封裝與玻璃蓋板。薄膜封裝 (TFE) 製程步驟對隱藏缺陷進行快速的非破壞高度測量，可迅速識別並解決製程問題。Castor 系統提供線上監測，改善了 OLEDoS 型微型顯示器的良率，為虛擬實境 (VR) 與混合實境 (MR) 在內的多種近眼顯示器應用，實現超高解析度的視覺效果。
進料品質控制 (IQC)、製程監視、製程控制
Orbotech Sirius™
適用於先進顯示器製造的自動光學檢查 (AOI) 系統
適用於顯示器的 Orbotech Sirius™ AOI 系統採用 Multi-Modality Imaging (MMI)™，掃描一次即可進行多次檢測，缺陷檢測與分類正確度高。Orbotech Sirius 系統旨在解決最具挑戰性的顯示器製造難題，可為電視、智慧型手機、平板電腦、智慧手錶和其他電子裝置提高先進液晶顯示器、有機發光二極體和柔性顯示器生產的良率。自動光學檢查解決方案為檢測多種缺陷類型提供先進的圖像功能，分類效能優異，可完整覆蓋整個面板區域，並且同時結合微觀與宏觀檢測功能。
顯示器缺陷檢測、製程控制
Orbotech Flare™
微發光二極體背板與巨量轉移檢測與量測系統
Orbotech Flare™ 製程控制解決方案有助於加速微發光二極體技術的良率。Orbotech Flare BP (背板) 檢測系統，具有偵測顯示器背板元件良率關鍵缺陷的靈敏度。這套系統採用精密的 WireSense™ 模對模檢測，可在薄膜沉積、曝光或蝕刻製程後分析圖形結構，快速識別製程問題。Orbotech Flare MT (巨量轉移) 檢測與量測系統，可測量每個微發光二極體裝置的位置與放置正確性，就巨量轉移過程提供量化的反饋。系統獲得 LEDSense™ 技術及 360° 暗區功能支援，在製造生產量水準達到 100% 的測量覆蓋率，可識別放置位移，以及微發光二極體缺失、變形與損壞等關鍵缺陷。
背板檢測與量測、質量傳送檢測與量測、品質控制、製程控制
Orbotech Array Checker™
適用於先進顯示器製造的電性測試系統
Orbotech Array Checker™ AC7000 測試系統的設計，可為電視、智慧型手機、平板電腦、智慧手錶及其他電子裝置，快速準確檢測及分類平面顯示器上的電性缺陷。這款系統為大尺寸與小尺寸顯示器提供先進的檢測功能，而且總平均週期時間 (TACT) 短，可提供高生產量、生產彈性及較低的營運成本，確保總擁有成本 (TCO) 低。顯示器電性測試解決方案還採用專屬的非接觸式電壓圖像技術、先進的人工智能支援檢測演算法，以及易於調整的探針，可精確檢測所有缺陷類型，不受顯示器尺寸或形狀影響。
顯示電性測試、顯示電性缺陷檢測、製程控制
Orbotech Prism™
顯示器修復系統
Orbotech Prism™ 系統這個快速精確的氣化與沉積修補解決方案，可以提高良率、改善運營效率，並且降低總擁有成本 (TCO)。這個解決方案是專為高階電視、小尺寸柔性有機發光二極體與微發光二極體背板而設計，透過選擇性層高解析度與高精確度切割 (<1μm)，提供增強的修復功能。Orbotech Prism 利用其專利技術，可為任意顯示器設計精確重現任何缺失的圖形，以及執行人工智能型與規則型自動判斷與自動修復。
背板修復、複雜圖案修復、精確的奈米銀膠沉積
Orbotech OASIS™
自動化良率增強解決方案
Orbotech OASIS™ (Orbotech advanced software integrated solution) 這套創新的人工智慧驅動 (AI) 軟體平台，可增強顯示器製造的良率。Orbotech OASIS 利用先進的機器學習技術，對 KLA 顯示器檢測與量測、測試及修復系統完整產品線的資料進行綜合分析。聯合分析所締造的綜效，將缺陷檢測、分類與修補最佳化，加速識別製程問題及提升修補效率。這個先進的解決方案透過良率管理自動化和製程控制，以及大幅改善小批量生產轉至大規模時間，加強生產力，實現更智慧的顯示器生產方式。
良率管理自動化、缺陷資料分析、製程控制、良率分析
Process Probe™ 2070
在原本位置的平板溫度監測系統
Process Probe™ 2070 儀器化玻璃磚屬於 SensArray ® 產品家族，針對許多平板處理應用，提供適用於可靠在原本位置玻璃溫度曲線特性分析的解決方案，而且符合成本效益又靈活彈性。Process Probe 2070 採用許多小尺寸儀器化玻璃磚，而非一片大型玻璃面板，因此輕輕鬆鬆便能將熱電偶感測器放置在製程室承載盤上指定的位置。這個產品設計彈性靈活，簡化了液晶顯示器和其他大尺寸玻璃面板應用的溫度測量過程，可實現高精確度的製程認證和優化。
製程開發、製程認證、製程工具認證
平板玻璃處理 | 0-600°C