Produktbeschreibung

Die Weißlichtinterferometer Filmetrics Profilm3D und Filmetrics Profilm3D-200 erzeugen hochauflösende Messungen der Oberflächentopografie mit einer Auflösung auf Sub-Nanometerebene. Die Werkzeuge unterstützen sowohl vertikal scannende als auch phasenverschiebende Interferometrie. Phase-Shift Imaging (PSI) kann auch mit WLI kombiniert werden, um PSI-Empfindlichkeit über größere Z-Variationen der Oberfläche zu ermöglichen. Dank der TotalFocus^®-Technologie liefert Profilm3D atemberaubende 3D-Bilder in natürlicher Farbe, bei denen jedes Pixel im Fokus steht. Die neueste Generation des Weißlichtinterferometers Profilm3D bietet verbesserte Rauheitsbildgebung zur Messung rauerer Oberflächen, höherer Neigungen und Oberflächen mit geringerer Reflexion.

Bei der Profilm3D-Messmethode ist die vertikale Auflösung der Messung unabhängig von der numerischen Apertur des Objektivs, was hochauflösende Messungen mit einem großen Sichtfeld ermöglicht. Der gemessene Bereich kann weiter erhöht werden, indem mehrere Aufnahmen zu einer einzigen Messung zusammengefügt werden. Das Profilm3D-Optikprofilometer verfügt außerdem über eine einfache, innovative Benutzeroberfläche und automatisierte Funktionen, um eine breite Palette von Arbeitsumgebungen zu unterstützen, von Forschung und Entwicklung bis hin zur Produktion.

Merkmale

• Vertikales Scannen und phasenverschiebende Interferometrie zur Messung von Oberflächenmerkmalen von Nanometern bis Millimetern.
• TotalFocus 3D-Bildgebung mit optimiertem Fokus für jedes Pixel über den gesamten Messbereich.
• True-Color-Imaging erzeugt die tatsächlichen Probenfarben für eine verbesserte Visualisierung, insbesondere für feine oder verborgene Merkmale.
• Enhanced Roughness Mode (ERM) erhöht den Randkontrast für bessere Bildtreue auf geneigten Oberflächen wie Objektiven und ermöglicht eine Signalverbesserung für raue Oberflächen.
• Automatisierter Fokus mit branchenführender langer Piezo-Reichweite für das Scannen mehrerer Oberflächen, die durch große Höhenabstände getrennt sind.
• Automatisierter X-Y-Tisch mit langer Reichweite, ideal für Kartierungen und Stitching-Scans

Anwendungen

• Stufenhöhe: 3D-Stufenhöhe von Nanometern bis Millimetern
• Textur und Form: 3D-Rauheit, Welligkeit, Verwölbung und Form
• Texturcharakterisierung
• Kanten-Roll-Off: 3D-Kantenprofilmessungen
• Fehlerprüfung: 3D-Topografie von Fehleroberflächen, Fehlercharakterisierung
• Hochauflösende Scans über große, transparente Filmoberflächen
• Hohe Rauheit, geringe Reflexionsfähigkeit, Kratzercharakterisierung

Branchen

• Universitäten, Forschungslabore und Institute
• Silizium und Verbundhalbleiter
• Präzisionsoptik und -mechanik
• Medizinische Geräte
• LED: Leuchtdioden
• Stromversorgungsgeräte
• MEMS: Mikroelektromechanische Systeme
• Datenspeicherung
• Automobilindustrie
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