Fehleranalyse für integrierter Schaltkreise (IC)

FA-Techniken (Fehleranalyse) werden verwendet, um die Ursache eines Fehlers in integrierten Schaltkreisen zu lokalisieren und zu identifizieren. KLA Instruments liefert Instrumente für Ihre integrierten Schaltkreisanalyse.

Frontseitige Verzögerung: Der frontseitige Verzögerungsprozess ist eine Art IC-Fehleranalyseanwendung, bei der die Dicke des nach der dielektrischen Verdünnung verbleibenden Dielektrikums bekannt sein muss. Filmetrics^® Das mikroskopbasierte Schichtdickenmessgerät F40 ist ideal für diese IC-Fehleranalyseanwendung.

ITO-Filmdicke

Messen Sie die Filmdicke von Indiumzinnoxid (ITO) und anderen transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs) mithilfe genauer Messungen des Brechungsindexes. Filmetrie-Tools können Flüssigkristallschichten messen, darunter Polyimid-, Hartlack-, Flüssigkristall- und OLED-Schichten, einschließlich der Emissions-, Injektions-, Puffer- und Verkapselungsschichten. Erfahren Sie mehr über die Herausforderungen beim Messen einer ITO-Schicht in unserer Anwendungshinweise.

Dickenmessung von biomedizinischen Beschichtungen

Messen Sie die Dicke von Beschichtungen für biomedizinische Anwendungen – wie Katheter- und Angioplastieballone, Stents, Führungsdrähte, Nadeln und andere Implantate – mit einem Klick mithilfe unserer Filmetrics-Tools. Biomedizinische Geräte verfügen über spezielle Beschichtungen, die das Gerät vor Korrosion schützen, während andere vor Komplikationen wie Gewebetrauma, Infektion oder sogar Abstoßung schützen. Die Messung der Schichtdicke von Arzneimittelverabreichungsgeräten ist ebenfalls eine gängige Anwendung. Unsere Filmetrics-Werkzeuge ermöglichen schnelle und zuverlässige Dickenmessungen, die zerstörungsfrei sind und keine Probenvorbereitung erfordern.

Anzeige: OLED Metrology

Organische Leuchtdioden (OLEDs) werden in vielen Anzeigegeräten verwendet, darunter Mobiltelefone und Fernsehgeräte. Die Dicke der vielen dünnen Filme, aus denen OLED-Displays bestehen, ist von entscheidender Bedeutung und erfordert ein berührungsloses Messsystem, um die OLED-Dicke effektiv zu messen. Unser F40-UV-Filmdickenmessgerät bietet kostengünstige, robuste und nichtinvasive Messverfahren für einfache Prototypgeräte und vollständig gepixelte Displays. Da unsere OLED-Messgeräte spektroskopisch sind, können auch chemische Veränderungen erkannt werden, die in diesen atmosphärisch empfindlichen Materialien auftreten können. Wir bieten außerdem kostenlose Testmessungen der Schichtdicke von OLED-Filmproben an.

Schichtdickenmessung für poröses Silizium

Poröses Silizium wird in vielen verschiedenen Anwendungen eingesetzt, darunter optische Geräte, Gassensoren und biomedizinische Geräte.

Zu den für die Industrie interessanten Messungen poröser Dünnschichten zählen Schichtdicke und Porosität. Im Allgemeinen werden zerstörungsfreie Methoden wie gravimetrische Messungen verwendet, um die Porosität zu messen, aber die Genauigkeit dieser Methode ist sehr gering. Filmetrics^® F40 bietet einen kostenlosen, einzigartigen Analysealgorithmus, der Schichtdicke, den Index und die Porosität von porösem Silizium mit einem einzigen Mausklick ermittelt.

Messung von Halbleiterprozessfilme

Die Filmetrics^®-Produktlinie bietet eine umfassende Palette von Geräten und Systemen zur Messung der Dicke und des Indexes von nichtmetallischen Halbleiterprozessfilme.

Das mikroskopbasierte Schitdickenmessgerät Filmetrics F40 eignet sich für Messungen mit kleinem Messfleck (bis zu 1 Mikrometer oder weniger) und wird an Ihrem Mikroskop angeschlossen.

Unsere patentierte Dickenbildtechnologie ermöglicht eine einfachere Einrichtung, weniger Rezepte, eine robustere Mustererkennung und wesentlich geringere Kosten als herkömmliche Schichtdicken-Messtechnikgeräte. Sowohl eigenständige als auch integrierte Versionen sind erhältlich.